[发明专利]多级罗茨真空泵

权利要求书

1.一种多级罗茨真空泵，其特征在于，所述多级罗茨真空泵包括：

腔体(110)，所述腔体(110)包括依次连通的进气腔(111)、一级压缩腔(112)和二级压缩腔(113)，所述一级压缩腔(112)的数量为两个，两个所述一级压缩腔(112)相对于二者的中平面呈对称形式；

两个转子(120)，安装在所述腔体(110)内，两个所述转子(120)相互啮合、且同步反向转动，所述转子(120)包括进气转子(121)、一级罗茨转子(122)和二级罗茨转子(123)，所述进气转子(121)、所述一级罗茨转子(122)和所述二级罗茨转子(123)分别位于所述进气腔(111)、所述一级压缩腔(112)和所述二级压缩腔(113)。

2.根据权利要求1所述多级罗茨真空泵，其特征在于，所述进气腔(111)与两个所述一级压缩腔(112)分别通过两个第一通道(114)连通，两个所述第一通道(114)相对于两个所述一级压缩腔(112)的中平面呈对称形式。

3.根据权利要求1所述多级罗茨真空泵，其特征在于，两个所述一级压缩腔(112)与两个所述二级压缩腔(113)分别通过两个第二通道(115)连通，两个所述第二通道(115)相对于两个所述一级压缩腔(112)的中平面呈对称形式。

4.根据权利要求1所述多级罗茨真空泵，其特征在于，所述进气腔(111)的数量为一个，所述进气腔(111)位于两个所述一级压缩腔(112)之间，两个所述二级压缩腔(113)分别位于两个所述一级压缩腔(112)的外侧。

5.根据权利要求4所述多级罗茨真空泵，其特征在于，所述二级压缩腔(113)的数量为两个，两个所述二级压缩腔(113)相对于两个所述一级压缩腔(112)的中平面呈对称形式。

6.根据权利要求4所述多级罗茨真空泵，其特征在于，所述进气腔(111)的中平面与两个所述一级压缩腔(112)的中平面重合。

7.根据权利要求4所述多级罗茨真空泵，其特征在于，所述二级压缩腔(113)为排气腔，所述腔体(110)还包括两个排气道(117)，两个所述排气道(117)分别与两个所述二级压缩腔(113)连通，两个所述排气道(117)相对于两个所述一级压缩腔(112)的中平面呈对称形式。

8.根据权利要求1所述多级罗茨真空泵，其特征在于，所述进气腔(111)的数量为两个，两个所述进气腔(111)分别位于两个所述一级压缩腔(112)的外侧，两个所述进气腔(111)相对于两个所述一级压缩腔(112)的中平面呈对称形式。

9.根据权利要求8所述多级罗茨真空泵，其特征在于，所述腔体(110)还包括两个进气道(116)，两个所述进气道(116)分别与两个所述进气腔(111)连通，两个所述进气道(116)相对于两个所述一级压缩腔(112)的中平面呈对称形式。

10.根据权利要求8所述多级罗茨真空泵，其特征在于，所述二级压缩腔(113)为排气腔，所述二级压缩腔(113)上数量为一个，所述二级压缩腔(113)的中平面与两个所述一级压缩腔(112)的中平面重合。