[发明专利]多级罗茨真空泵

说明书

本发明的实施例提供了一种多级罗茨真空泵，涉及真空泵技术领域。多级罗茨真空泵包括腔体和两个转子，腔体包括依次连通的进气腔、一级压缩腔和二级压缩腔，一级压缩腔的数量为两个，两个一级压缩腔相对于二者的中平面呈对称形式；两个转子安装在腔体内，两个转子相互啮合、且同步反向转动，转子包括进气转子、一级罗茨转子和二级罗茨转子，进气转子、一级罗茨转子和二级罗茨转子分别位于进气腔、一级压缩腔和二级压缩腔。将两个一级压缩腔相对于二者的中平面呈对称形式，使转子的两个一级罗茨转子相对于二者的中平面也呈对称形式，能够减小设备的体积，还能够有效地降低转子承受的轴向力，提高设备的稳定性。

技术领域

本发明涉及真空泵技术领域，具体而言，涉及一种多级罗茨真空泵。

背景技术

现有传统真空泵大多数的吸排气结构一般分别分布在两侧，如现有多级罗茨真空泵是一种变容积干式真空泵，由装在泵体内的一对平行轴上的多级转子构成，轴端齿轮驱动同步反向运转。爪型泵抽气过程中泵腔内不含油类等液体介质，对被抽容器以及工作环境无污染，所以在半导体、电子、化工和制药行业得到了广泛的应用。但现有真空泵没有同时近气两端排气，或者两端近气同时排气的结构。

这使现有结构形式的真空泵的体积较大，内部零件的数量较多，设备运转的稳定性难以保证，而且转子承受的轴向力较大，设备抽排气的稳定性不够。

发明内容

本发明的目的包括提供一种多级罗茨真空泵，其能够减小泵的体积，降低转子的轴向力，增加设备的稳定性。

本发明的实施例可以这样实现：

本发明提供一种多级罗茨真空泵，多级罗茨真空泵包括：

腔体，腔体包括依次连通的进气腔、一级压缩腔和二级压缩腔，一级压缩腔的数量为两个，两个一级压缩腔相对于二者的中平面呈对称形式；

两个转子，安装在腔体内，两个转子相互啮合、且同步反向转动，转子包括进气转子、一级罗茨转子和二级罗茨转子，进气转子、一级罗茨转子和二级罗茨转子分别位于进气腔、一级压缩腔和二级压缩腔。

本发明实施例提供的多级罗茨真空泵的有益效果包括：

将两个一级压缩腔相对于二者的中平面呈对称形式，使转子的两个一级罗茨转子相对于二者的中平面也呈对称形式，能够减小设备的体积，还能够有效地降低转子承受的轴向力，提高设备的稳定性。

在可选的实施方式中，进气腔与两个一级压缩腔分别通过两个第一通道连通，两个第一通道相对于两个一级压缩腔的中平面呈对称形式。

这样，两个第一通道相对于两个一级压缩腔的中平面呈对称形式，进一步使转子的两端受力均衡，增加转子运转的稳定性。

在可选的实施方式中，两个一级压缩腔与两个二级压缩腔分别通过两个第二通道连通，两个第二通道相对于两个一级压缩腔的中平面呈对称形式。

这样，两个第二通道相对于两个一级压缩腔的中平面呈对称形式，进一步使转子的两端受力均衡，增加转子运转的稳定性。

在可选的实施方式中，进气腔的数量为一个，进气腔位于两个一级压缩腔之间，两个二级压缩腔分别位于两个一级压缩腔的外侧。

在可选的实施方式中，二级压缩腔的数量为两个，两个二级压缩腔相对于两个一级压缩腔的中平面呈对称形式。

这样，两个二级压缩腔相对于两个一级压缩腔的中平面呈对称形式，进一步减小设备的体积，降低转子承受的轴向力，提高设备的稳定性。

在可选的实施方式中，进气腔的中平面与两个一级压缩腔的中平面重合。

这样，腔体内部的腔体分布以及转子的叶瓣的分布均呈对称形式，最大程度地减小设备的体积，降低转子承受的轴向力，提高设备的稳定性。