[发明专利]电容薄膜真空计的膜片预紧装置、预紧系统及预紧方法

权利要求书

1.一种电容薄膜真空计的膜片预紧装置，用于张紧电容薄膜真空计的中心膜片（1），其特征在于，所述预紧装置包括：

工作台（2），用于承托所述中心膜片（1）；

夹具组件（3），用于夹持所述中心膜片（1），多个所述夹具组件（3）滑动安装在所述工作台（2）上，且能沿所述中心膜片（1）径向滑动；

驱动组件（4），与所述工作台（2）连接，用于驱动所述夹具组件（3）相对于所述中心膜片（1）同步进行径向滑动。

2.根据权利要求1所述的一种电容薄膜真空计的膜片预紧装置，其特征在于，所述驱动组件（4）包括：

升降块（41），所述夹具组件（3）均通过连杆（5）与所述升降块（41）连接；

升降机构（42），所述升降机构（42）与所述工作台（2）连接，用于驱动所述升降块（41）相对于所述工作台（2）位置升降。

3.根据权利要求1所述的一种电容薄膜真空计的膜片预紧装置，其特征在于，所述工作台（2）包括：

环形盘（21）；

承托板（22），设置在所述环形盘（21）内，且与环形盘（21）固定连接，用于承托所述中心膜片（1）；

所述环形盘（21）上设有多个滑轨（23），所述夹具组件（3）滑动安装在所述滑轨（23）上。

4.根据权利要求3所述的一种电容薄膜真空计的膜片预紧装置，其特征在于，所述滑轨（23）圆周阵列且为径向延伸地设置在所述环形盘（21）上。

5.根据权利要求3所述的一种电容薄膜真空计的膜片预紧装置，其特征在于，所述夹具组件（3）包括：

夹持夹具（31），用于夹持所述中心膜片（1）；

滑动滑块（32），与所述夹持夹具（31）固定连接，且滑动安装在所述滑轨（23）上，并通过连杆（5）与所述驱动组件（4）的活动端连接。

6.根据权利要求5所述的一种电容薄膜真空计的膜片预紧装置，其特征在于，所述夹持夹具（31）包括：

基座（311），与所述滑动滑块（32）固定连接；

固定夹板（312），固定安装在所述基座（311）上；

活动夹板（313），活动安装在所述基座（311）上；

调节手柄（314），与所述活动夹板（313）连接，用于调节所述活动夹板（313）靠近或远离所述固定夹板（312）以夹持或释放所述中心膜片（1）边缘。

7.根据权利要求1所述的一种电容薄膜真空计的膜片预紧装置，其特征在于，所述夹具组件（3）为6-10个。

8.一种电容薄膜真空计的膜片预紧系统，用于张紧电容薄膜真空计的中心膜片（1），其特征在于，所述预紧系统包括：

工作台（2），用于承托所述中心膜片（1）；

夹具组件（3），用于夹持所述中心膜片（1），多个所述夹具组件（3）滑动安装在所述工作台（2）上，且能沿所述中心膜片（1）径向滑动；

驱动组件（4），与所述工作台（2）连接，用于驱动所述夹具组件（3）相对于所述中心膜片（1）同步进行径向滑动；

仿真模块（6），用于仿真计算所述中心膜片（1）需求的所述夹具组件（3）的仿真拉力信息；

液压模块（7），与所述驱动组件（4）连接，用于通过提供液压调节所述驱动组件（4）的驱动能力；

主控模块（8），与所述仿真模块（6）及所述液压模块（7）电性连接，用于根据所述仿真拉力信息控制所述液压模块（7）提供液压以使所述驱动组件（4）驱动所述夹具组件（3）张紧所述中心膜片（1）。

9.根据权利要求8所述的一种电容薄膜真空计的膜片预紧系统，其特征在于，所述仿真模块（6）根据所述中心膜片（1）的厚度信息、直径信息、材质信息及夹具组件（3）数量仿真计算所述仿真拉力信息。

10.一种电容薄膜真空计的膜片预紧方法，用于张紧电容薄膜真空计的中心膜片（1），其特征在于，应用在电容薄膜真空计的膜片预紧系统中，所述预紧系统包括：

工作台（2），用于承托所述中心膜片（1）；

夹具组件（3），用于夹持所述中心膜片（1），多个所述夹具组件（3）滑动安装在所述工作台（2）上，且能沿所述中心膜片（1）径向滑动；

驱动组件（4），与所述工作台（2）连接，用于驱动所述夹具组件（3）相对于所述中心膜片（1）同步进行径向滑动；

仿真模块（6），用于仿真计算所述中心膜片（1）需求的所述夹具组件（3）的仿真拉力信息；

液压模块（7），与所述驱动组件（4）连接，用于通过提供液压调节所述驱动组件（4）的驱动能力；

所述预紧方法包括以下步骤：

获取所述仿真拉力信息；

根据所述仿真拉力信息控制所述液压模块（7）提供液压以使所述驱动组件（4）驱动所述夹具组件（3）张紧所述中心膜片（1）。