[发明专利]电容薄膜真空计的膜片预紧装置、预紧系统及预紧方法

说明书

本发明涉及测量仪器技术领域，具体公开了一种电容薄膜真空计的膜片预紧装置、预紧系统及预紧方法，其中，预紧装置包括：工作台，用于承托中心膜片；夹具组件，用于夹持中心膜片，多个夹具组件滑动安装在工作台上，且能沿中心膜片径向滑动；驱动组件，与工作台连接，用于驱动夹具组件相对于中心膜片同步进行径向滑动；该预紧装置能利用驱动组件同步驱动夹具组件进行相对于中心膜片中心位置的径向滑动而对中心膜片施加多个方向的径向向外的拉力，实现中心膜片的周向性张紧，不会对中心膜片施加竖直方向的剪切力，故不会产生应力集中的问题，能确保中心膜片顺利地被张紧的同时，能对中心膜片施加更强的张紧作用。

技术领域

本申请涉及测量仪器技术领域，具体而言，涉及一种电容薄膜真空计的膜片预紧装置、预紧系统及预紧方法。

背景技术

电容薄膜真空计（又称电容薄膜规）是一种全压强真空测量仪器，具有高稳定性、高精度、耐腐蚀性等优点，广泛应用在航天航空、核工业、半导体装备等重要领域。

电容薄膜真空计主要是根据弹性元件（中心膜片）在压差作用下产生应变而引起电容变化的原理制成。电容薄膜真空计的关键部件是中心膜片，中心膜片的性能决定了电容薄膜真空计测量的准确性和使用寿命。

中心膜片在焊接装配前必须预先调整为弹性张紧状态，并且预紧力的大小和均匀性直接决定了电容薄膜真空计产品的量程和性能。其中，量程越小的电容薄膜真空计对于中心膜片的预紧力大小及均匀性分布要求越高。

现有的中心膜片的预紧装置一般是在中心膜片上下端面设置压紧器（压圈或压块或压环，呈圆柱状或圆环状）将中心膜片朝向一端压紧推出，利用该压紧作用将施加在膜片上的压力转化为周向性的拉力，从而将该中心膜片张紧；这种张紧方式会使得中心膜片在与压紧器接触的区域形成上下方向的剪切力，造成较大的应力集中，若进一步提高预紧力则容易导致中心膜片损毁，从而制约了张紧力的上限，只能用于产出预紧力要求较低的中心膜片，限制了电容薄膜真空计性能的提升。

针对上述问题，目前尚未有有效的技术解决方案。

发明内容

本申请的目的在于提供一种电容薄膜真空计的膜片预紧装置、预紧系统及预紧方法，解决应力集中的问题，从而能对中心膜片施加更大的张紧力。

第一方面，本申请提供了一种电容薄膜真空计的膜片预紧装置，用于张紧电容薄膜真空计的中心膜片，所述预紧装置包括：

工作台，用于承托所述中心膜片；

夹具组件，用于夹持所述中心膜片，多个所述夹具组件滑动安装在所述工作台上，且能沿所述中心膜片径向滑动；

驱动组件，与所述工作台连接，用于驱动所述夹具组件相对于所述中心膜片同步进行径向滑动。

本申请的一种电容薄膜真空计的膜片预紧装置，能利用驱动组件同步驱动夹具组件进行相对于中心膜片中心位置的径向滑动而对中心膜片施加多个方向的径向向外的拉力，实现中心膜片的周向性张紧。

所述的一种电容薄膜真空计的膜片预紧装置，其中，所述驱动组件包括：

升降块，所述夹具组件均通过连杆与所述升降块连接；

升降机构，所述升降机构与所述工作台连接，用于驱动所述升降块相对于所述工作台位置升降。

在该示例的一种电容薄膜真空计的膜片预紧装置中，升降块进行升降运动时，夹具组件在与升降块连接的连杆倾摆作用下进行水平滑动，各个夹具组件均通过对应的连杆与升降块连接，使得升降块进行升降运动时能同步驱动所有夹具组件进行滑动，以使所有夹具组件朝向或背离中心膜片进行相对于中心膜片径向的滑动。

所述的一种电容薄膜真空计的膜片预紧装置，其中，所述工作台包括：

环形盘；

承托板，设置在所述环形盘内，且与环形盘固定连接，用于承托所述中心膜片；

所述环形盘上设有多个滑轨，所述夹具组件滑动安装在所述滑轨上。