[发明专利]具有金属夹层钝化层的GaN基激光二极管结构及制造方法

说明书

本发明提供一种具有金属夹层钝化层的GaN基激光二极管结构及制造方法，n型GaN衬底、N覆盖层、N波导层、发光活性层、P波导层、P型电子阻挡层依次层叠设置在N电极上，P型电子阻挡层的上表面凸出设置有脊条，脊条包括P覆盖层和依次叠设在P覆盖层上的P接触层、P接触电极层；第一钝化层设置在P型电子阻挡层的上表面，位于脊条的两侧，第二钝化层置于第一钝化层上表面；第二钝化层上开设有凹槽，凹槽包括相通的竖槽和横槽，横槽内设置有第一金属层，在第二钝化层的上表面及脊条上设有P电极，P电极具有与竖槽相对应的凸起部，竖槽的横截面积小于横槽的横截面积。其降低了电极结构的应力，提高了金属电极与钝化层的附着力，改善散热性能。

技术领域

本发明涉及激光二极管技术领域，尤其涉及一种具有金属夹层钝化层的GaN基激光二极管结构及制造方法。

背景技术

边发射的激光二极管，为了形成良好的脊波导结构，在脊的侧面覆盖光学绝缘层SiO2，可以形成光学限制，让电流从脊上注入形成高电流密度，达到激光阈值；因为脊的接触面积很小，金属电极与SiO2的附着性差，厚金属电极应力大，容易掉；目前的方式都是采用薄的Au电极，封装到热沉上，再进一步封装到产品上；而大功率激光二极管的金属电极都是采用薄结构，间接造成很多封装问题，比如散热不好等。

发明内容

基于此，本发明的目的在于提供一种具有金属夹层钝化层的GaN基激光二极管结构，其提高了金属电极与钝化层的附着力，降低封装要求，改善散热性能。为实现上述目的，本发明的技术方案如下：

一种具有金属夹层钝化层的GaN基激光二极管结构，包括N电极、n型GaN衬底、N覆盖层、N波导层、发光活性层、P波导层、P型电子阻挡层和钝化层；

所述n型GaN衬底、N覆盖层、N波导层、发光活性层、P波导层、P型电子阻挡层依次层叠设置在所述N电极上，所述P型电子阻挡层的上表面凸出设置有脊条，所述脊条具有顶面和侧面，所述脊条包括P覆盖层和依次叠设在所述P覆盖层上的P接触层、P接触电极层；

所述钝化层包括第一钝化层和第二钝化层，所述第一钝化层和第二钝化层均为SiO₂层，所述第一钝化层设置在所述脊条的侧面及与脊条侧面下部相连的P型电子阻挡层的上表面，所述第二钝化层置于所述第一钝化层的上表面；

所述第二钝化层上开设有凹槽，所述凹槽包括相通的竖槽和横槽，所述横槽内设置有第一金属层，在所述第二钝化层的上表面及所述脊条上设置有作为P电极的第二金属层，所述P电极具有与所述竖槽相对应的凸起部，所述竖槽的横截面积小于所述横槽的横截面积。

进一步，所述横槽为长方形、正方形、圆形和三角形中至少一种，所述竖槽为长方形、正方形或圆形。

进一步，当所述横槽为长方形时，在所述脊条的长度方向上，所述凹槽的长度与所述脊条的长度相同。

进一步，所述横槽的数量为两个，两个所述横槽分别位于所述脊条的两侧，每个所述横槽对应多个所述竖槽。

进一步，所述横槽的数量为多个，多个所述横槽分别位于所述脊条的两侧；所述竖槽的数量为多个，每个所述横槽对应一个或多个所述竖槽。

进一步，所述第二钝化层的厚度小于或等于所述第一钝化层的厚度。

进一步，所述第一钝化层的厚度与所述第二钝化层的厚度之和大于或等于所述P覆盖层的厚度与所述P接触层的厚度之和。

根据本发明的另一方面，提供了一种具有金属夹层钝化层的GaN基激光二极管结构的制造方法，包括以下步骤：

S1、在P接触层上制作图形化的光刻胶，以所述图形化的光刻胶为掩模，对依次层叠设置在P型电子阻挡层上的P覆盖层和P接触层进行蚀刻形成脊条，所述脊条凸出于P型电子阻挡层的上部表面，所述脊条具有顶面和侧面；