[发明专利]一种载板回转移动装置在审
申请号: | 202210181167.7 | 申请日: | 2022-02-25 |
公开(公告)号: | CN114420614A | 公开(公告)日: | 2022-04-29 |
发明(设计)人: | 刘翠翠;代和松 | 申请(专利权)人: | 江西汉可泛半导体技术有限公司 |
主分类号: | H01L21/677 | 分类号: | H01L21/677;H01L31/18 |
代理公司: | 南昌贤达专利代理事务所(普通合伙) 36136 | 代理人: | 张雪娟 |
地址: | 332020 江西省*** | 国省代码: | 江西;36 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 回转 移动 装置 | ||
1.一种载板回转移动装置,其特征在于,包括基座(5)、移动框架(4)、回转框架(2)和载板(3),
所述移动框架(4)沿水平方向左右滑动设置在基座(5)上,
所述移动框架(4)上设置有回转驱动齿轮(7)、从动内齿轮(19)以及旋转电机(11),所述旋转电机(11)沿移动框架(4)高度方向设置,所述回转驱动齿轮(7)和从动内齿轮(19)均沿水平方向设置,所述回转驱动齿轮(7)设置在旋转电机(11)的输出轴上而能够在旋转电机(11)的驱动下沿水平方向旋转,所述回转驱动齿轮(7)与从动内齿轮(19)啮合而能够带动从动内齿轮(19)沿水平方向旋转,所述回转框架(2)设置在所述从动内齿轮(19)上而能够随从动内齿轮(19)同步旋转,所述移动框架(4)上还设置有夹紧装置,所述夹紧装置能够对所述回转框架(2)进行夹紧而能够限制回转框架(2)旋转,
所述回转框架(2)上设置有导轨,所述载板(3)沿水平方向前后滑动设置在所述导轨上,所述回转框架(2)上还设置有载板驱动电机(1)、载板驱动齿轮(14)以及载板齿条,所述载板驱动电机(1)沿水平方向设置,所述载板齿条与所述导轨平行设置,所述载板驱动齿轮(14)设置在载板驱动电机(1)的输出轴上,所述载板驱动齿轮(14)与所述载板齿条啮合而能够带动载板齿条沿水平方向前后移动,所述载板(3)与载板齿条连接而能够随载板齿条同步移动。
2.根据权利要求1所述的一种载板回转移动装置,其特征在于,所述回转框架(2)上还设置有用于控制载板驱动电机(1)和载板驱动齿轮(14)之间通断的电磁离合器(18),所述电磁离合器(18)连接在载板驱动电机(1)和载板驱动齿轮(14)之间。
3.根据权利要求1所述的一种载板回转移动装置,其特征在于,还包括上导轮(16),所述上导轮(16)对称设置在载板(3)上端两侧的导轨上。
4.根据权利要求1所述的一种载板回转移动装置,其特征在于,还包括下导轮(17),所述下导轮(17)设置在载板(3)的下端,所述载板(3)的下端通过下导轮(17)设置在导轨上。
5.根据权利要求1所述的一种载板回转移动装置,其特征在于,所述夹紧装置为夹紧气缸(13),所述夹紧气缸(13)包括缸体、活塞杆以及与活塞杆连接的杠杆压臂,所述杠杆压臂在活塞杆的驱动下朝向所述回转框架(2)移动并夹紧所述回转框架(2)。
6.根据权利要求1所述的一种载板回转移动装置,其特征在于,所述从动内齿轮(19)能够带动回转框架(2)作180°回转运动。
7.根据权利要求1所述的一种载板回转移动装置,其特征在于,还包括回转支承(6),所述从动内齿轮(19)通过回转支承(6)设置在移动框架(4)上。
8.根据权利要求1所述的一种载板回转移动装置,其特征在于,还包括移动驱动装置,所述基座(5)上具有沿水平方向左右设置的滑轨(9),所述滑轨(9)上设置有与其配合的滑块(15),所述移动框架(4)设置在所述滑块(15)上,所述移动驱动装置与所述移动框架(4)连接而能够驱动所述移动框架(4)沿所述滑轨(9)滑动。
9.根据权利要求8所述的一种载板回转移动装置,其特征在于,所述移动驱动装置包括移动电机(12)、减速机、齿轮以及齿条(8),所述齿条(8)沿平行于滑轨(9)的方向设置在基座(5)上,所述移动电机(12)和减速机设置在移动框架(4)上,所述齿轮设置在移动电机(12)的输出轴上,所述齿轮与齿条(8)啮合而能够带动移动框架(4)沿滑轨(9)移动。
10.根据权利要求9所述的一种载板回转移动装置,其特征在于,还包括与滑轨(9)平行设置的拖链(10),所述拖链(10)的一端设置在基座(5)上,另一端设置在移动框架(4)。
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