[发明专利]一种计算机控制的化学机械抛光装置

权利要求书

1.一种计算机控制的化学机械抛光装置，包括底座(1)，其特征在于，所述底座(1)上端固定连接有液压油缸(2)，所述液压油缸(2)活动端固定连接有安装板(3)，所述安装板(3)上端固定连接有抛光垫(4)，所述底座(1)上端固定连接有U型架(5)，所述U型架(5)内顶部固定连接有电机(6)，所述电机(6)输出端固定连接有圆盘(7)，所述圆盘(7)上安装有固定机构，所述固定机构包括对称固定连接在圆盘(7)下端的多个固定轴(8)，多个所述固定轴(8)下端均固定连接有固定块(9)，所述固定块(9)下端开设有固定槽(10)，所述固定槽(10)内壁对称开设有两个滑槽(11)，两个所述滑槽(11)内壁滑动连接有两个固定杆(12)，两个所述固定杆(12)相互靠近的侧壁均固定连接有固定板(13)，两个所述滑槽(11)内壁均固定连接有第一气囊(14)，所述第一气囊(14)另一端与固定杆(12)固定连接，所述第一气囊(14)内壁固定连接有第一弹簧(15)，所述第一气囊(14)内填充有电流变液，且所述电流变液与电机(6)电性连接，所述底座(1)上安装有清洁机构。

2.根据权利要求1所述的一种计算机控制的化学机械抛光装置，其特征在于，所述清洁机构包括开设在底座(1)上端的第一槽(16)，所述第一槽(16)内壁滑动连接有安装杆(17)，所述安装杆(17)侧壁固定连接有清洁板(18)，所述清洁板(18)内开设有进气槽(19)，所述进气槽(19)内壁开设有多个吸尘孔(20)。

3.根据权利要求2所述的一种计算机控制的化学机械抛光装置，其特征在于，所述U型架(5)上安装有散热机构，所述散热机构包括开设在U型架(5)内壁的第二槽(21)，所述第二槽(21)内壁滑动连接有滑块(22)，所述第二槽(21)内底部固定连接有第二气囊(23)，所述第二气囊(23)上端与滑块(22)固定连接，所述第二气囊(23)侧壁固定连接有进气管(24)，所述电机(6)侧壁固定连接有散热管(25)，所述第二气囊(23)通过供气管(26)与散热管(25)连通。

4.根据权利要求3所述的一种计算机控制的化学机械抛光装置，其特征在于，所述清洁机构还包括固定连接在底座(1)下端的集尘箱(27)，所述进气槽(19)通过出气管(28)与散热管(25)连通，所述进气槽(19)通过排尘管(29)与集尘箱(27)连通。

5.根据权利要求4所述的一种计算机控制的化学机械抛光装置，其特征在于，所述U型架(5)上安装有第一驱动机构，所述第一驱动机构包括转动连接在U型架(5)内顶部的往复丝杠(30)，所述往复丝杠(30)下端与底座(1)上端转动连接，所述往复丝杠(30)侧壁与滑块(22)螺纹连接，所述往复丝杠(30)侧壁固定连接有第一齿轮(31)，所述圆盘(7)侧壁固定连接有第二齿轮(32)，所述第一齿轮(31)与第二齿轮(32)啮合连接。

6.根据权利要求5所述的一种计算机控制的化学机械抛光装置，其特征在于，所述底座(1)上安装有第二驱动机构，所述第二驱动机构包括开设在底座(1)内的第三槽(33)，所述第三槽(33)内壁密封滑动连接有导电滑块(34)，所述第三槽(33)内壁固定连接有导电条(35)，所述第一槽(16)内壁固定连接有导电弹簧(36)，所述导电弹簧(36)另一端与安装杆(17)侧壁固定连接，且所述导电弹簧(36)与导电条(35)电性连接。

7.根据权利要求6所述的一种计算机控制的化学机械抛光装置，其特征在于，所述第二驱动机构还包括固定连接在第三槽(33)内壁的第二弹簧(37)，所述第二弹簧(37)另一端与导电滑块(34)固定连接，所述底座(1)上端固定连接有第三气囊(38)，所述第三气囊(38)上端与安装板(3)下端固定连接，所述第三气囊(38)侧壁固定连接有吸气管(39)，所述第三气囊(38)通过泵气管(40)与第三槽(33)连通。