[发明专利]MicroLED发光阵列结构在审
申请号: | 202210183724.9 | 申请日: | 2022-02-25 |
公开(公告)号: | CN114551698A | 公开(公告)日: | 2022-05-27 |
发明(设计)人: | 王国宏;李志聪;李璟 | 申请(专利权)人: | 中国科学院半导体研究所 |
主分类号: | H01L33/58 | 分类号: | H01L33/58;H01L33/60;H01L27/15;H01L33/00 |
代理公司: | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人: | 张博 |
地址: | 100083 *** | 国省代码: | 北京;11 |
权利要求书: | 查看更多 | 说明书: | 查看更多 |
摘要: | |||
搜索关键词: | microled 发光 阵列 结构 | ||
1.一种MicroLED发光阵列结构,包括:
多个MicroLED像素单元(11),成行线和列线互联的阵列结构排列;
所述MicroLED像素单元(11)包括:
衬底(1);
MicroLED像素单元基片,形成于所述衬底(1)上;以及
吸收层(9),形成于所述衬底(1)上,位于所述MicroLED像素单元基片两侧,并高于所述MicroLED像素单元基片的表面。
2.根据权利要求1所述的MicroLED发光阵列结构,其中,所述MicroLED像素单元(11)还包括:
反射层(10),形成于所述衬底(1)的底部;
所述反射层(10)相较于所述衬底(1)的底部边缘缩进2-8um;所述反射层(10)采用厚度为20-40um的白色聚合物类有机材料,所述白色聚合物类有机材料包括白色感光显影型覆盖膜。
3.根据权利要求1所述的MicroLED发光阵列结构,其中,所述MicroLED像素单元基片包括:
外延层(12),形成于所述衬底(1)的表面上;
电极层(13),形成于所述外延层(12)的表面上,且位于所述外延层(12)表面的两端;以及
绝缘层(8),覆盖所述外延层(12)表面的第一剩余部分;其中,所述绝缘层(8)与所述电极层(13)形成平面,所述第一剩余部分为所述外延层(12)未被所述电极层(13)覆盖的部分;
其中,所述吸收层(9)覆盖所述外延层(12)和所述电极层(13)的侧壁,并覆盖所述衬底(1)表面的第二剩余部分;所述吸收层(9)高出所述绝缘层(8)与所述电极层(13)所形成的平面,所述第二剩余部分为所述衬底(1)未被所述外延层(12)覆盖的部分。
4.根据权利要求3所述的MicroLED发光阵列结构,其中,所述外延层(12)包括:
u-GaN缓冲层(2),形成于所述衬底(1)的表面上;
N-GaN外延层(3),覆盖所述u-GaN缓冲层(2)的表面上;
多量子阱MQW层(4),覆盖所述N-GaN外延层(3)的表面,所述电极层(13)的一端形成于所述多量子阱MQW层(4)上;以及
P-GaN层(5),形成于所述多量子阱MQW层(4)表面上并自所述多量子阱MQW层(4)的表面边缘延伸,所述电极层(13)的另一端形成于所述P-GaN层(5)上;
其中,所述绝缘层(8)覆盖所述P-GaN层(5)未被所述电极层(13)覆盖的部分,所述绝缘层(8)覆盖所述多量子阱MQW层(4)未被所述电极层(13)和所述P-GaN层(5)覆盖的部分。
5.根据权利要求4所述的MicroLED发光阵列结构,其中,所述电极层(13)包括:
P电极(6),形成于所述P-GaN层(5)的表面上并自所述P-GaN层(5)的表面边缘延伸,所述电极材料为CrAlAu;以及
N电极(7),形成于所述多量子阱MQW层(4)的表面上并自所述多量子阱MQW层(4)的表面边缘延伸,所述电极材料为CrAlAu;
其中,所述P电极(6)、所述N电极(7)和所述绝缘层(8)形成平面。
6.根据权利要求1至5中任一项所述的MicroLED发光阵列结构,其中:
所述MicroLED像素单元(11)的面积小于0.003mm2;
所述吸收层(9)采用厚度为20-40um的黑色聚合物类有机材料,所述黑色聚合物类有机材料包括黑色感光显影型覆盖膜。
7.根据权利要求3至5中任一项所述的MicroLED发光阵列结构,其中:
所述衬底(1)的材料为蓝宝石材料;
所述绝缘层(8)的材料为SiO2材料;
所述外延层(12)的材料为不导电的材料。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息,商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于中国科学院半导体研究所,未经中国科学院半导体研究所许可,擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作,请联系【客服】
本文链接:http://www.vipzhuanli.com/pat/books/202210183724.9/1.html,转载请声明来源钻瓜专利网。