[发明专利]MicroLED发光阵列结构在审

专利信息
申请号: 202210183724.9 申请日: 2022-02-25
公开(公告)号: CN114551698A 公开(公告)日: 2022-05-27
发明(设计)人: 王国宏;李志聪;李璟 申请(专利权)人: 中国科学院半导体研究所
主分类号: H01L33/58 分类号: H01L33/58;H01L33/60;H01L27/15;H01L33/00
代理公司: 中科专利商标代理有限责任公司 11021 代理人: 张博
地址: 100083 *** 国省代码: 北京;11
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摘要:
搜索关键词: microled 发光 阵列 结构
【权利要求书】:

1.一种MicroLED发光阵列结构,包括:

多个MicroLED像素单元(11),成行线和列线互联的阵列结构排列;

所述MicroLED像素单元(11)包括:

衬底(1);

MicroLED像素单元基片,形成于所述衬底(1)上;以及

吸收层(9),形成于所述衬底(1)上,位于所述MicroLED像素单元基片两侧,并高于所述MicroLED像素单元基片的表面。

2.根据权利要求1所述的MicroLED发光阵列结构,其中,所述MicroLED像素单元(11)还包括:

反射层(10),形成于所述衬底(1)的底部;

所述反射层(10)相较于所述衬底(1)的底部边缘缩进2-8um;所述反射层(10)采用厚度为20-40um的白色聚合物类有机材料,所述白色聚合物类有机材料包括白色感光显影型覆盖膜。

3.根据权利要求1所述的MicroLED发光阵列结构,其中,所述MicroLED像素单元基片包括:

外延层(12),形成于所述衬底(1)的表面上;

电极层(13),形成于所述外延层(12)的表面上,且位于所述外延层(12)表面的两端;以及

绝缘层(8),覆盖所述外延层(12)表面的第一剩余部分;其中,所述绝缘层(8)与所述电极层(13)形成平面,所述第一剩余部分为所述外延层(12)未被所述电极层(13)覆盖的部分;

其中,所述吸收层(9)覆盖所述外延层(12)和所述电极层(13)的侧壁,并覆盖所述衬底(1)表面的第二剩余部分;所述吸收层(9)高出所述绝缘层(8)与所述电极层(13)所形成的平面,所述第二剩余部分为所述衬底(1)未被所述外延层(12)覆盖的部分。

4.根据权利要求3所述的MicroLED发光阵列结构,其中,所述外延层(12)包括:

u-GaN缓冲层(2),形成于所述衬底(1)的表面上;

N-GaN外延层(3),覆盖所述u-GaN缓冲层(2)的表面上;

多量子阱MQW层(4),覆盖所述N-GaN外延层(3)的表面,所述电极层(13)的一端形成于所述多量子阱MQW层(4)上;以及

P-GaN层(5),形成于所述多量子阱MQW层(4)表面上并自所述多量子阱MQW层(4)的表面边缘延伸,所述电极层(13)的另一端形成于所述P-GaN层(5)上;

其中,所述绝缘层(8)覆盖所述P-GaN层(5)未被所述电极层(13)覆盖的部分,所述绝缘层(8)覆盖所述多量子阱MQW层(4)未被所述电极层(13)和所述P-GaN层(5)覆盖的部分。

5.根据权利要求4所述的MicroLED发光阵列结构,其中,所述电极层(13)包括:

P电极(6),形成于所述P-GaN层(5)的表面上并自所述P-GaN层(5)的表面边缘延伸,所述电极材料为CrAlAu;以及

N电极(7),形成于所述多量子阱MQW层(4)的表面上并自所述多量子阱MQW层(4)的表面边缘延伸,所述电极材料为CrAlAu;

其中,所述P电极(6)、所述N电极(7)和所述绝缘层(8)形成平面。

6.根据权利要求1至5中任一项所述的MicroLED发光阵列结构,其中:

所述MicroLED像素单元(11)的面积小于0.003mm2

所述吸收层(9)采用厚度为20-40um的黑色聚合物类有机材料,所述黑色聚合物类有机材料包括黑色感光显影型覆盖膜。

7.根据权利要求3至5中任一项所述的MicroLED发光阵列结构,其中:

所述衬底(1)的材料为蓝宝石材料;

所述绝缘层(8)的材料为SiO2材料;

所述外延层(12)的材料为不导电的材料。

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