[发明专利]一种光刻胶固化装置

权利要求书

1.一种光刻胶固化装置，包括固化炉以及用于承载涂覆的光刻胶层并转移到所述固化炉中的载板，其特征在于，还包括：

设置在所述固化炉内并与所述固化炉相对静止的磁力装置，以及设置在所述固化炉内侧壁上用于承载所述载板的多个凸部；所述载板包括基板以及固定在所述基板上的磁性板；

所述磁力装置用于对放置到所述固化炉内的所述磁性板提供与重力方向相反的非接触式作用力；

其中，所述磁力装置位于磁性板下方，所述与重力方向相反的非接触式作用力为排斥力。

2.根据权利要求1所述的光刻胶固化装置，其特征在于，所述磁力装置包括：

固定托板、分别固定在所述固定托板上的若干个绕制有线圈的铁芯、设置在所述固定托板内部的磁力控制器，所述磁力控制器分别与若干个所述线圈连接。

3.根据权利要求2所述的光刻胶固化装置，其特征在于，所述磁力控制器包括：

开关控制电路和电流控制电路；

所述开关控制电路用于控制所述线圈的通电和断电；

所述电流控制电路用于控制所述线圈的通电电流的大小。

4.根据权利要求2所述的光刻胶固化装置，其特征在于，所述磁性板包括：

分别固定在所述基板上的若干个磁铁、包封在若干个所述磁铁上的包封层。

5.根据权利要求4所述的光刻胶固化装置，其特征在于，所述铁芯设有多个且分别固定在所述固定托板上。

6.根据权利要求5所述的光刻胶固化装置，其特征在于，所述磁铁设有多个且分别固定在所述基板上。

7.根据权利要求1所述的光刻胶固化装置，其特征在于，所述磁力装置设置在所述凸部的下方；

所述磁力装置用于对放置到所述固化炉内的所述载板的所述磁性板提供与重力方向相反的非接触式支撑力。

8.根据权利要求1所述的光刻胶固化装置，其特征在于，还包括：

设置在所述固化炉内侧壁上的承载圈，所述凸部设置在所述承载圈的上表面上。

9.根据权利要求1所述的光刻胶固化装置，其特征在于，所述基板包括玻璃基板、硅基板或不锈钢基板。