[发明专利]一种柔性基材的撕膜方法及装置在审

专利信息
申请号: 202210193440.8 申请日: 2022-03-01
公开(公告)号: CN115816979A 公开(公告)日: 2023-03-21
发明(设计)人: 斯迎军;姬臻杰;于亮亮 申请(专利权)人: 思恩半导体科技(苏州)有限公司
主分类号: B32B38/10 分类号: B32B38/10
代理公司: 上海索源知识产权代理有限公司 31431 代理人: 李燕
地址: 215537 江苏省*** 国省代码: 江苏;32
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摘要:
搜索关键词: 一种 柔性 基材 方法 装置
【说明书】:

发明涉及一种柔性基材的撕膜方法及装置,属于撕膜设备技术领域。其主要解决目前PET膜移除方法,主要由人工完成的。采用人工撕膜效率低、良品率低,撕膜过程中产生的静电容易导致沾污的问题,提出如下技术方案。包括真空吸附载台、撕膜机械手和膜片,所述真空吸附载台包括上台板和下台板。本发明通过设置夹指,置于基材表面上方,利用真空吸附载台上台面的台阶实现PET膜的夹取并沿基材对角线方向,以距离基材表面很小的高度移动,利用PET膜的小半径弯曲释放的能量,实现粘结层的断裂分离;从而省去了人工完成带来的麻烦,而且整体的效率也会变得更高;最后就是整个撕膜过程中不易产生静电,从而确保了整个撕膜过程中的洁净度。

技术领域

本发明涉及撕膜设备技术领域,具体为一种柔性基材的撕膜方法及装置。

背景技术

多层陶瓷电子元件以其高频性能优异、集成密度高等特点,在航天、通信等领域获得广泛应用。多层陶瓷电子元件是由薄膜陶瓷制作而成,在制作过程中需要将薄膜陶瓷表面的PET膜移除。

但是目前PET膜移除方法,主要由人工完成的。采用人工撕膜效率低、良品率低,撕膜过程中产生的静电容易导致沾污。

发明内容

(一)解决的技术问题

本发明的目的是针对背景技术中存在的问题,提出一种柔性基材的撕膜方法及装置。

(二)技术方案

为实现上述目的,本发明提供如下技术方案:一种柔性基材的撕膜装置,包括真空吸附载台、撕膜机械手和膜片,所述真空吸附载台包括上台板和下台板,上台板和下台板构成密封区域,所述下台板上固定安装有旋转气缸和定位块;所述撕膜机械手包括Z向驱动模组、X向驱动模组、夹指和框架,所述Z向驱动模组在X向驱动模组上滑动连接,所述夹指固定安装在Z向驱动模组的下端,所述框架连接在X向驱动模组的背面。

作为本发明的一种优选技术方案,所述膜片包括PET膜和柔性基材体,所述PET膜与柔性基材体粘合连接。

作为本发明的一种优选技术方案,所述上台板的上端表面开设有吸附孔,且吸附孔呈矩阵排列状设计;所述柔性基材体固定在上台板的上端表面。

作为本发明的一种优选技术方案,所述上台板和下台板构成的密封区域与真空发生器连接。

作为本发明的一种优选技术方案,所述定位块通过气缸与下台板连接。

作为本发明的一种优选技术方案,所述夹指置于柔性基材体的表面正上方。

作为本发明的一种优选技术方案,还提供一种柔性基材的撕膜方法,包括以下步骤:

S1、将膜片放置到上台板上,定位块从四边向中心移动,实现膜片的定位;定位动作完成后,利用真空发生器产生的负压将膜片固定;

S2、膜片固定后,Z向驱动模组与X向驱动模组同时移动,使夹指移动至上台板台阶附近;

S3、X向驱动模组向料片靠近,使PET膜的一角进入夹指的夹持范围内。夹指到位后,夹紧PET膜,并向上移动一段距离;

S4、Z向驱动模组移动到位后,X向驱动模组向膜片的中心移动一段距离,使PET膜的一角构成“S”形;

S5、“S”形形成后,Z向驱动模组需要进一步向下移动,减小弯曲半径;

S6、Z向驱动模组在保持PET膜较小的弯曲半径状态下,X向驱动模组沿着膜片对角线方向移动,实现PET膜与柔性基材体的分离。

(三)有益效果

与现有技术相比,本发明的柔性基材的撕膜方法及装置,具备以下有益效果:

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