[发明专利]一种载具容纳盒的转移装置在审
申请号: | 202210197664.6 | 申请日: | 2022-03-02 |
公开(公告)号: | CN114464563A | 公开(公告)日: | 2022-05-10 |
发明(设计)人: | 张啸云;蒋云武 | 申请(专利权)人: | 苏州声芯电子科技有限公司 |
主分类号: | H01L21/677 | 分类号: | H01L21/677 |
代理公司: | 苏州金项专利代理事务所(普通合伙) 32456 | 代理人: | 金星 |
地址: | 215600 江苏省苏州市张家港*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 容纳 转移 装置 | ||
1.一种载具容纳盒的转移装置,其特征在于:包括机架、支撑架、工作台、载具容纳盒、送料装置和夹持移动装置,所述送料装置安装于机架上用于将载具容纳盒沿Y轴方向逐个输送至上料工位,所述夹持移动装置安装于支撑架上,所述工作台上设有与上料工位对应的载具放置工位,所述夹持移动装置包括固定于支撑架上沿水平X方向延伸的X导轨,所述X导轨上沿水平X方向滑动安装有X滑块,所述X滑块由X动力装置驱动在上料工位和载具放置工位之间往复移动;所述X滑块上绕竖直Z轴旋转安装有旋转座,所述X滑座上安装有驱动旋转座往复偏转的偏转动力装置,所述旋转座上沿竖直Z轴滑动安装有用于夹持载具容纳盒上的盒体手柄的容纳盒夹持机构和用于夹持载具容纳盒上的挡板的挡板夹持机构。
2.如权利要求1所述的一种载具容纳盒的转移装置,其特征在于:所述送料装置包括转动安装于机架上的第一主动带轮和第一从动带轮,所述第一主动带轮和第一从动带轮之间安装有循环输送带,所述第一主动带轮与送料动力装置传动连接,所述循环输送带上固定有若干套间隔设置的用于卡装载具容纳盒的容纳盒卡具。
3.如权利要求2所述的一种载具容纳盒的转移装置,其特征在于:所述机架上固定有四根平行且间隔设置的支撑条,所述支撑条支撑载具容纳盒的底面,所述循环输送带的上带面处于支撑条的下方,每个容纳盒卡具均包括四个限位凸起,所述四个限位凸起通过连接结构固定于循环输送带的外侧面,四个限位凸起共同形成了限定载具容纳盒的放置区域,所述连接结构与支撑条之间的间隙位置对应使限位凸起运行到支撑台的上方。
4.如权利要求3所述的一种载具容纳盒的转移装置,其特征在于:所述容纳盒夹持机构包括固定安装在旋转座上的第一伸缩动力装置,所述第一伸缩动力装置的动力端安装有用于夹持载具容纳盒上的盒体手柄的第一气动夹具。
5.如权利要求4所述的一种载具容纳盒的转移装置,其特征在于:所述第一气动夹具包括固定在第一伸缩动力装置的动力端上的第一双轴气缸,所述第一双轴气缸的活塞杆上固定有一对手柄夹爪,盒体手柄所述手柄夹爪夹紧后形成了方便夹取载具容纳盒上的盒体手柄的盒体手柄卡槽。
6.如权利要求5所述的一种载具容纳盒的转移装置,其特征在于:所述挡板夹持机构包括固定安装在旋转座上的第二伸缩动力装置,所述第二伸缩动力装置的动力端安装有用于夹持挡板的提手的第二气动夹具。
7.如权利要求6所述的一种载具容纳盒的转移装置,其特征在于:所述第二气动夹具包括固定在第二伸缩动力装置的动力端的第二双轴气缸和固定在第二双轴气缸活塞杆上的一对挡板夹爪,所述挡板上的提手为拱桥形,所述一对挡板夹爪的下端设置有相互配合的夹板,所述夹板的相对侧均设有相互配合的弧形凸起和弧形限位条,所述弧形限位条位于弧形凸起的上方,所述挡板夹爪在夹持时弧形凸起处于所述提手的孔内且夹板相对的侧面与提手侧面接触,所述弧形限位条与所述提手的上端部定位配合。
8.如权利要求7所述的一种载具容纳盒的转移装置,其特征在于:所述工作台数量为两个且分别位于送料装置两侧,每个工作台上均设有载具放置工位,所述载具放置工位上设有方便定位的定位框。
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造