[发明专利]半导体器件的测试方法在审

专利信息
申请号: 202210204743.5 申请日: 2022-03-03
公开(公告)号: CN114582748A 公开(公告)日: 2022-06-03
发明(设计)人: 邵嘉阳;凌俭波;王华;王辉 申请(专利权)人: 上海华岭集成电路技术股份有限公司
主分类号: H01L21/66 分类号: H01L21/66
代理公司: 上海思捷知识产权代理有限公司 31295 代理人: 罗磊
地址: 201203 上海市*** 国省代码: 上海;31
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摘要:
搜索关键词: 半导体器件 测试 方法
【权利要求书】:

1.一种半导体器件的测试方法,用于在半导体测试过程中,将UID写入半导体器件,其特征在于,包括:

编写测试程式,一个所述测试程式包含一个UID号池,一个所述UID号池被一个测试程式调用,并且,同一批次的半导体器件调用的测试程式相同;

将一个所述UID号池分为若干个UID号段;以及

将同一型号的半导体器件分成M份,采用N个测试机台同时对N份所述半导体器件进行测试,每个所述测试机台选择一份所述半导体器件进行测试,其中,每个所述测试机台的测试程式选用一个UID号段,不同所述测试机台选用的所述UID号段均不同,每个所述测试机台将对应的所述UID号段及其中的UID写入所述半导体器件中,并且,一个所述UID写入一个所述半导体器件,并且,N≤M。

2.如权利要求1所述的半导体器件的测试方法,其特征在于,所述UID号池包括多个UID,每个所述UID按照加一的方式保存在所述UID号池中。

3.如权利要求1所述的半导体器件的测试方法,其特征在于,每个所述UID号段包括若干个UID,每个所述UID按照加一的方式保存在UID号段中。

4.如权利要求1所述的半导体器件的测试方法,其特征在于,将一个所述UID号池平均分为若干个UID号段。

5.如权利要求1所述的半导体器件的测试方法,其特征在于,所述测试机台调用UID号段后,该号段标记为已使用的。

6.如权利要求1所述的半导体器件的测试方法,其特征在于,所述测试机选用UID号段之前,还包括:判断所述UID号段是否为已使用,如果没被使用,则选用该UID号段。

7.如权利要求6所述的半导体器件的测试方法,其特征在于,所述测试机台的当前UID号段包含的UID使用完之后,自动选用下一个没被使用的UID号段。

8.如权利要求1所述的半导体器件的测试方法,其特征在于,所有所述UID号段用完之后,所述测试机台报警。

9.如权利要求1所述的半导体器件的测试方法,其特征在于,所述UID号池的UID包括:0000000000~9999999999。

10.如权利要求1所述的半导体器件的测试方法,其特征在于,将所述UID号池分为5个UID号段,分别为第一号段、第二号段、第三号段、第四号段和第五号段,所述第一号段包括0000000000~1999999999的UID,所述第二号段包括2000000000~3999999999的UID,所述第三号段包括4000000000~5999999999的UID,所述第四号段包括6000000000~7999999999的UID,所述第五号段包括8000000000~9999999999的UID。

11.如权利要求1所述的半导体器件的测试方法,其特征在于,所述UID号池和UID号段均保存在数据库中。

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