[发明专利]半导体器件的测试方法在审

专利信息
申请号: 202210204743.5 申请日: 2022-03-03
公开(公告)号: CN114582748A 公开(公告)日: 2022-06-03
发明(设计)人: 邵嘉阳;凌俭波;王华;王辉 申请(专利权)人: 上海华岭集成电路技术股份有限公司
主分类号: H01L21/66 分类号: H01L21/66
代理公司: 上海思捷知识产权代理有限公司 31295 代理人: 罗磊
地址: 201203 上海市*** 国省代码: 上海;31
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摘要:
搜索关键词: 半导体器件 测试 方法
【说明书】:

发明提供了一种半导体器件的测试方法,包括:编写测试程式,一个测试程式包含一个UID号池,一个UID号池被一个测试程式调用,并且,同一型号的的半导体器件调用的测试程式相同;将同一型号的半导体器件分成M份,采用N个测试机台同时对N份所述半导体器件进行测试,每个所述测试机台选择一份所述半导体器件进行测试,其中,每个所述测试机台的测试程式选用一个UID号段,不同所述测试机台选用的所述UID号段均不同,每个所述测试机台将对应的所述UID号段及其中的UID写入所述半导体器件中,并且,一个所述UID写入一个所述半导体器件,并且,N≤M。

技术领域

本发明涉及半导体器件测试领域,尤其是涉及一种半导体器件的测试方法。

背景技术

在半导体晶圆测试过程中,有一类芯片需要写入UID号用来作为识别这块芯片的唯一编码。其中一种UID的写入需要从芯片的用户处申请,这种UID只能使用一次,不同的芯片需要写入不重复的UID,因此UID资源非常宝贵,因此,合理分配UID的使用非常重要。例如,金融卡、门禁卡等,一旦UID被写入该芯片,则无法擦除后重新写入。该UID要求是不能重复,而且在写入时尽量少的浪费。如果两颗芯片写入了同一个UID,则会造成芯片的报废。如果只有一台测试机写入UID,则没有UID分配的问题,然而,当有多台测试机一起测试时,需要合理分配UID的使用区间,防止重复使用同个UID。

然而,为了提高生产效率,通常在测试时都会分配多台测试机一起测试。因此,需要合理分配UID的使用区间,使得不同的测试机使用不同的UID号。在现有技术的半导体器件的测试过程中,不同的测试机通常会使用不同的测试程序,每个测试程序单独调用同一个UID号池,当这个号池中的UID用尽以后,则需要停下来,等待工程人员更新该程序对应的UID号池后才能继续测试。

因为在测试过程中,一个测试程式只能使用一个UID号池,一个UID号池只能被一个测试程式使用,从而防止UID被不同测试机台重复使用的问题。如果多个测试机台同时对同一型号的多批次半导体器件进行测试,就需要使用不同的UID号池,这样导致多个机台之间的测试程式不能互用,同时,一个UID号池被一个测试机台使用,不能最大限度地使用UID号池,更进一步的,同一型号的多批次半导体器件使用不同UID号池不方便后续追踪该型号半导体器件的质量问题。

发明内容

本发明的目的在于提供一种半导体器件的测试方法,在对同一型号的半导体器件进行测试时,可以多个测试机台调用同一测试程式,避免同一UID号池被不同测试机台调用的情况发生,从而避免减少芯片报废的几率。同时,可以多个测试机台同时使用同一个UID号池,最大限度地使用UID号池,提高测试效率。

为了达到上述目的,本发明提供了一种半导体器件的测试方法,用于在半导体测试过程中,将UID写入半导体器件,包括:

编写测试程式,一个所述测试程式包含一个UID号池,一个所述UID号池被一个测试程式调用,并且,同一型号的的半导体器件调用的测试程式相同;

将一个所述UID号池分为若干个UID号段;以及

将同一型号的半导体器件分成M份,采用N个测试机台同时对N份所述半导体器件进行测试,每个所述测试机台选择一份所述半导体器件进行测试,其中,每个所述测试机台的测试程式选用一个UID号段,不同所述测试机台选用的所述UID号段均不同,每个所述测试机台将对应的所述UID号段及其中的UID写入所述半导体器件中,并且,一个所述UID写入一个所述半导体器件,并且,N≤M。

可选的,在所述的半导体器件的测试方法中,所述UID号池包括多个UID,每个所述UID按照加一的方式保存在所述UID号池中。

可选的,在所述的半导体器件的测试方法中,每个所述UID号段包括若干个UID,每个所述UID按照加一的方式保存在UID号段中。

可选的,在所述的半导体器件的测试方法中,将一个所述UID号池平均分为若干个UID号段。

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