[发明专利]一种高性能四运放集成电路的制备方法在审

专利信息
申请号: 202210205693.2 申请日: 2022-03-04
公开(公告)号: CN114664733A 公开(公告)日: 2022-06-24
发明(设计)人: 王永怀;王科伟;秦鹏;陈伟;邢先锋 申请(专利权)人: 西安锐晶微电子有限公司
主分类号: H01L21/77 分类号: H01L21/77;H01L21/67;H01L21/66
代理公司: 北京盛凡佳华专利代理事务所(普通合伙) 11947 代理人: 王娇娇
地址: 710000 陕西省西安市*** 国省代码: 陕西;61
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摘要:
搜索关键词: 一种 性能 四运放 集成电路 制备 方法
【权利要求书】:

1.一种高性能四运放集成电路的制备方法,其特征在于:集成电路LM124是在原集成芯片的基础上,采用以下工艺步骤,使产品的质量得以增强,可靠性得以提高,不同于普通集成运放,它是在第一次集成后并不直接封装完成产品,而是再通过一系列增加的工艺步骤,提高产品的质量,增强产品的可靠性之后,再完成生产后生成成品,具体的包括以下工艺步骤:

步骤一:芯片晶圆采用筛选:不仅进行参数性能测试筛选,还进行功能、环境筛选和动态运行筛选,剔除早期失效芯片晶圆;

步骤二:采用厚膜技术工艺进行封装,按照不同规格、要求进行封装;

步骤三:采用老练工艺,对其性能和质量进一步提高,再次进行早期失效淘汰,对集成电路LM124,进行工艺老练,使其性能更加稳定、可靠;

步骤四:采用环境筛选工艺,继续对集成电路LM124进行质量筛选,具体采用高温贮存、高温工作、低温贮存、低温工作、温度冲击和温度循环等多种工艺,增强其可靠性。

2.根据权利要求1所述的一种高性能四运放集成电路的制备方法,其特征在于:步骤二中采用塑封、陶瓷封装和金属封装中的任意一种封装方式。

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