[发明专利]一种应用于芯片测试设备的平台移动装置

说明书

本申请实施例提供了一种应用于芯片测试设备的平台移动装置，平台移动装置包括底座、设置在底座上方的滑动平台，在滑动平台下方设置滑动连接的第一导轨和第二导轨，滑动平台一侧设有凸轮随动器，凸轮的一端与凸轮随动器抵接，其中，凸轮与凸轮随动器抵接端的表面包括平面区域和非平面区域，凸轮的另一端穿过设置在电机一侧的电机座与电机连接，电机驱动凸轮转动，当凸轮转动到非平面区域时，推进第一导轨与第二导轨相对滑动，以使得滑动平台相对底座移动，当凸轮转动到所述平面区域时，滑动平台相对底座静止。本申请通过凸轮进行驱动，以实现滑动平台的微小行程移动，在保证移动的精度的同时，节省了生产成本。

技术领域

本申请涉及芯片测试技术领域，具体涉及一种应用于芯片测试设备的平台移动装置。

背景技术

在芯片的测试、生产过程中经常需要用到运动平台，常用到标准的直线运动平台模块中行程较大的运动平台，常见的驱动形式有丝杆螺母、同步带、直线电机等形式。微小行程的运动平台，常见的驱动形式有音圈电机、超声马达（压电陶瓷）等形式。

但是在运动平台的实际应用过程中发现，丝杆螺母、同步带、直线电机等驱动形式驱动精度高，但体积较大，在不降低精度的情况下，很难做到非常小巧，所以微小行程的运动平台，较少采用这类驱动形式。通过音圈电机、超声马达（压电陶瓷）等驱动形式的运动平台，虽然驱动精度超高、体积小巧、质量轻便，但造价昂贵。因此，适用于芯片测试的微小运动平台装置生产成本高。

发明内容

本申请实施例提供一种应用于芯片测试设备的平台移动装置，用以在保证平台移动精度的同时，节省了生产成本。

本申请实施例提供一种应用于芯片测试设备的平台移动装置，包括：

底座，在所述底座上方设置第一导轨和用于固定复位弹簧的第一弹簧销；

滑动平台，滑动平台设于底座上方，在滑动平台下方设置第二导轨，第一导轨与第二导轨滑动连接，滑动平台一侧设有凸轮随动器，滑动平台上设置有第二弹簧销，底座与滑动平台通过固定在第一弹簧销和第二弹簧销上的复位弹簧相连；

凸轮，凸轮一端与电机连接，另一端与凸轮随动器抵接，凸轮与凸轮随动器抵接端的表面包括平面区域和非平面区域；

电机，凸轮穿过设置在电机一侧的电机座与电机连接，并驱动凸轮转动，当凸轮转动到非平面区域时，推进第一导轨与第二导轨相对滑动，以使得滑动平台相对底座移动，复位弹簧在滑动平台相对底座移动时收缩或复位，当凸轮转动到平面区域时，滑动平台相对底座静止。

在本申请一种可能的实现方式中，非平面区域包括多个斜面区域。

在本申请一种可能的实现方式中，多个斜面包括上斜面区域和下斜面区域；

当凸轮转动到上斜面区域，且凸轮与凸轮随动器的接触面由上斜面区域向平面区域移动时，推进第一导轨与第二导轨相对滑动，以使得滑动平台相对底座移动，复位弹簧在滑动平台相对底座移动时收缩，当凸轮转动到下斜面区域，且凸轮与凸轮随动器的接触面由平面区域向下斜面区域移动时，推进第一导轨与第二导轨相对滑动，以使得滑动平台相对底座移动，复位弹簧在滑动平台相对底座移动时复位。

在本申请一种可能的实现方式中，上斜面区域的倾斜角度对应预设的第一运动曲线，下斜面区域的倾斜角度对应预设的第二运动曲线，第一运动曲线和第二运动曲线不同，第一运动曲线和第二运动曲线与滑动平台上放置的物品相关联。

在本申请一种可能的实现方式中，平面区域包括第一平面区域和第二平面区域，第一平面区域两侧分别和上斜面区域和下斜面区域相邻，第二平面区域两侧也分别和上斜面区域和下斜面区域相邻，上斜面区域沿平行滑动平台移动方向的顶点与第一平面区域在同一竖直平面，下斜面区域沿平行滑动平台移动方向的最低点与第二平面区域在同一竖直平面；

第一平面区域和上斜面区域面积之和，等于第二平面区域与下斜面区域面积之和。