[发明专利]一种固晶机有效
申请号: | 202210214332.4 | 申请日: | 2022-03-04 |
公开(公告)号: | CN114589061B | 公开(公告)日: | 2022-12-16 |
发明(设计)人: | 赵越;柯晓玉 | 申请(专利权)人: | 东莞市耀野自动化有限公司 |
主分类号: | B05C5/02 | 分类号: | B05C5/02;B05C11/10;B05C13/00;F16B11/00 |
代理公司: | 东莞市华南专利商标事务所有限公司 44215 | 代理人: | 何冠威 |
地址: | 523000 广东省东莞市东城街道主*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 固晶机 | ||
本发明涉及晶圆贴装设备技术领域,尤其是指一种固晶机,包括机台、架设于机台的位置调整机构、分别与位置调整机构的调整端连接的贴装装置和双摄像定位装置及分别装设于机台的供晶圆装置、送料装置、供胶装置和加工头更换架,加工头更换架储存有至少一种点胶头和至少一种贴装头,双摄像定位装置与位置调整机构电连接,位置调整机构用于驱动贴装装置和双摄像定位装置在供晶圆装置、送料装置、供胶装置和加工头更换架的上方活动。本发明通过双摄像定位装置分别对晶圆和产品进行视觉定位,定位精度高,提高了贴装的精度,且一个贴装装置即可完成点胶和贴装的工艺,结构简单且紧凑,成本低。
技术领域
本发明涉及晶圆贴装设备技术领域,尤其是指一种固晶机。
背景技术
固晶机是一种将晶圆贴装在载体(产品)上的设备。现有技术中的固晶机具有点胶装置和贴装装置,分别通过点胶装置和贴装装置完成点胶和贴装的工艺,使得设备的结构复杂,制造成本高,难以准确地对晶圆和载体进行定位,导致固晶精度差。因此,缺陷十分明显,亟需提供一种解决方案。
发明内容
为了解决上述技术问题,本发明的目的在于提供一种固晶机。
为了实现上述目的,本发明采用如下技术方案:
一种固晶机,其包括机台、架设于机台的位置调整机构、分别与位置调整机构的调整端连接的贴装装置和双摄像定位装置及分别装设于机台的供晶圆装置、送料装置、供胶装置和加工头更换架,所述加工头更换架储存有至少一种点胶头和至少一种贴装头,所述双摄像定位装置与位置调整机构电连接,所述位置调整机构用于驱动贴装装置和双摄像定位装置在供晶圆装置、送料装置、供胶装置和加工头更换架的上方活动。
进一步地,所述贴装装置包括贴装座、转动调节机构、连接座、压力传感器、连接杆、连接臂、磁铁、调节旋钮、限位件、弹簧及霍尔传感器,所述贴装座与位置调整机构的调整端连接,所述转动调节机构装设于贴装座,所述连接座与转动调节机构的转动端连接,所述压力传感器装设于连接座,所述连接杆升降设置于连接座,所述连接杆的顶部用于抵触压力传感器的输入端,所述连接杆的底部可拆卸地连接点胶头或贴装头,所述连接臂与连接杆连接,所述磁铁装设于连接臂,所述调节旋钮与连接座螺纹连接,所述限位件设置于连接座,所述限位件用于对连接臂进行限位,所述霍尔传感器装设于连接座,所述磁铁与霍尔传感器对应设置,所述调节旋钮套设于压力传感器和连接杆外,所述调节旋钮经由弹簧与连接杆弹性连接,所述弹簧套设于压力传感器和连接杆外。
进一步地,所述连接座装设有空气轴承,所述连接杆经由空气轴承与连接座升降地连接。
进一步地,所述连接臂贯穿连接杆的径向,所述磁铁装设于连接臂的一端,所述连接臂的另一端与连接座滑动连接。
进一步地,所述连接座螺纹连接有调节螺栓,所述调节螺栓经由拉簧与连接臂靠近磁铁的一端连接。
进一步地,所述连接座开设有升降槽,所述连接臂远离磁铁的一端经由滚动件与升降槽的内壁滚动抵触。
进一步地,所述双摄像定位装置包括与位置调整机构的调整端连接的安装架及分别装设于安装架的第一摄像机、第二摄像机、棱镜和45°反射镜,所述第一摄像机与第二摄像机平行设置,所述安装架开设有光孔,所述棱镜显露于光孔并位于第一摄像机的摄像端下方,所述棱镜与45°反射镜对应设置,所述45°反射镜位于第二摄像机的摄像端下方。
进一步地,所述固晶机还包括装设于机台的摄像标定机构,所述摄像标定机构用于对双摄像定位装置进行校准。
进一步地,所述摄像标定机构包括装设于机台的标定座、装设于标定座的第三摄像机、套设于第三摄像机的镜头外的补光灯及位于镜头的上方的校准件,所述校准件开设有标定孔,所述第三摄像机的镜头朝上设置。
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