[发明专利]激光处理装置、激光处理方法在审
| 申请号： | 202210222481.5 | 申请日： | 2022-03-09 |
| 公开（公告）号： | CN115106656A | 公开（公告）日： | 2022-09-27 |
| 发明（设计）人： | 长崎克俊;前田勇辉 | 申请（专利权）人： | 株式会社片冈制作所 |
| 主分类号： | B23K26/36 | 分类号： | B23K26/36;B23K26/08;B23K26/70;H01L21/268;H01L21/67;H01L51/56 |
| 代理公司： | 北京市中咨律师事务所 11247 | 代理人： | 梅也;段承恩 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 激光 处理 装置 方法 | ||
1.一种激光处理装置，所述激光处理装置进行使将激光沿着Y轴方向扩展而得到的线光束相对于被处理物沿着与Y轴交叉的X轴方向相对移动的扫描，并将激光向被处理物上的带状区域照射，其中，
在向被处理物上的某带状区域照射后向与该带状区域相邻的其他带状区域照射时，通过使被处理物相对于线光束绕与X轴及Y轴交叉的Z轴相对旋转180°后，利用线光束扫描其他带状区域，从而在前者的区域中的与后者的区域相接的边界部、和后者的区域中的与前者的区域相接的边界部均接触线光束的相同侧的端部。
2.根据权利要求1所述的激光处理装置，其中，
所述被处理物在基板上设置有某些膜或层，
所述激光处理装置实施通过对该被处理物照射所述线光束而使膜或层从基板剥离的处理。
3.根据权利要求1所述的激光处理装置，其中，
所述激光处理装置具备：
工作台，所述工作台支承所述被处理物并且沿着X轴方向移送所述被处理物；以及
旋转机构，所述旋转机构使支承于工作台的被处理物绕Z轴旋转。
4.根据权利要求1所述的激光处理装置，其中，
生成向所述被处理物照射的线光束的光学系统包括：
用于对从激光光源供给的激光进行扩展而调整沿着Y轴方向的线长度的透镜；
用于调整激光的沿着X轴方向的光束宽度的透镜；
用于使激光的沿着Y轴方向的光强度均匀化的透镜；以及
用于缩小激光的沿着X轴方向的光束宽度的聚光透镜。
5.一种激光处理方法，所述激光处理方法是进行使将激光沿着Y轴方向扩展而得到的线光束相对于被处理物沿着与Y轴交叉的X轴方向相对移动的扫描，并将激光向被处理物上的带状区域照射的激光处理方法，其中，
在向被处理物上的某带状区域照射后向与该带状区域相邻的其他带状区域照射时，通过使被处理物相对于线光束绕与X轴及Y轴交叉的Z轴相对旋转180°后，利用线光束扫描其他带状区域，从而在前者的区域中的与后者的区域相接的边界部、和后者的区域中的与前者的区域相接的边界部均接触线光束的相同侧的端部。
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