[发明专利]一种高速真空泵

权利要求书

1.一种高速真空泵，其特征在于，其包括泵体(10)，所述泵体(10)内设置有相互啮合的第一转子部件(20)和第二转子部件(30)，所述第一转子部件(20)和第二转子部件(30)之间同步转动，所述第一转子部件(20)和第二转子部件(30)之间的转动方向相反，所述第一转子部件(20)的一端设置有第一轴承部件(40)和第一传动轮部件(50)，所述第一轴承部件(40)的内圈与所述第一转子部件(20)连接，所述第一轴承部件(40)的外圈与所述第一传动轮部件(50)连接，所述第二转子部件(30)的一端设置有第二传动轮部件(60)，所述第二传动轮部件(60)与所述第一传动轮部件(50)之间传动连接，所述第一传动轮部件(50)的直径大于所述第二传动轮部件(60)的直径，所述第一传动轮部件(50)能够被驱动的以所述第一转子部件(20)的转轴为轴转动。

2.根据权利要求1所述的高速真空泵，其特征在于，所述第一转子部件(20)的轴向和所述第二转子部件(30)的轴向分别与所述泵体(10)的长度方向一致，所述泵体(10)内具有内腔，所述第一转子部件(20)和所述第二转子部件(30)分别设置在所述内腔内，所述第一转子部件(20)的两端分别与所述泵体(10)长度方向的两端可转动连接，所述第二转子部件(30)的两端分别与所述泵体(10)长度方向的两端可转动连接。

3.根据权利要求2所述的高速真空泵，其特征在于，所述第一转子部件(20)轴线方向的两端分别为第一同步端(21)和配合端(22)，所述第一同步端(21)和所述配合端(22)分别贯穿所述泵体(10)长度方向的两端，所述第一同步端(21)上设置有第三传动轮部件(70)，所述第一轴承部件(40)的内圈与所述配合端(22)连接；

所述第二转子部件(30)轴线方向的两端分别为第二同步端(31)和从动端(32)，所述第二同步端(31)和所述从动端(32)分别贯穿所述泵体(10)长度方向的两端，所述第二同步端(31)上设置有第四传动轮部件(80)，所述第二传动轮部件(60)与所述从动端(32)连接；

所述第三传动轮部件(70)与所述第四传动轮部件(80)之间传动连接。

4.根据权利要求3所述的高速真空泵，其特征在于，所述第一轴承部件(40)的内圈套设在所述配合端(22)上，所述第一传动轮套设在所述第一轴承部件(40)的外圈上。

5.根据权利要求3所述的高速真空泵，其特征在于，所述第一传动轮部件(50)和所述第二传动轮部件(60)之间齿轮传动连接；和/或

所述第三传动轮部件(70)和所述第四传动轮部件(80)之间齿轮传动连接，所述第三传动轮部件(70)和所述第四传动轮部件(80)之间直径相同。

6.根据权利要求3所述的高速真空泵，其特征在于，所述第一同步端(21)和/或所述配合端(22)与所述泵体(10)之间通过第二轴承部件(90)可转动连接；和/或

所述第二同步端(31)和/或所述从动端(32)与所述泵体(10)之间通过第二轴承部件(90)可转动连接。

7.根据权利要求5所述的高速真空泵，其特征在于，其还包括密封箱部件(100)、传动轴(110)和驱动部件(120)，所述密封箱部件(100)设置在所述泵体(10)设有所述第一传动轮部件(50)和所述第二传动轮部件(60)的一侧，所述密封箱部件(100)内设置有第一容置腔，所述密封箱部件(100)朝向所述泵体(10)的一侧具有第一开口，所述第一开口与所述第一容置腔连通，所述第一传动轮部件(50)和所述第二传动轮部件(60)均位于所述第一容置腔内；

所述密封箱部件(100)上设置有轴孔，所述轴孔的轴线方向与所述泵体(10)的长度方向一致，所述轴孔与所述第一转子部件(20)对应设置，所述轴孔的一端与所述第一容置腔连通，另一端贯穿所述密封箱部件(100)；

所述驱动部件(120)设置在所述密封箱部件(100)远离所述泵体(10)的一侧，所述传动轴(110)位于所述轴孔内，所述传动轴(110)的两端分别与所述第一传动轮部件(50)和所述驱动部件(120)的转动主轴(121)连接。