[发明专利]一种高速真空泵

说明书

本发明公开一种高速真空泵，包括泵体，内设异向同步转动且相互啮合的第一转子部件和第二转子部件，第一转子部件一端设有第一轴承部件和第一传动轮部件，第一轴承部件内圈与第一转子部件连接，外圈与第一传动轮部件连接，第二转子部件一端设有与第一传动轮部件传动连接的第二传动轮部件，第一传动轮部件大于第二传动轮部件，第一传动轮部件能以第一转子部件转轴为轴转动。本申请采用传动轮组改变驱动部件转动主轴和转子部件间转速比，以机械方式提高转速，主动传动轮部件可转动套设在被动转动转子部件上有效降低真空泵尺寸，同时使其之间产生同向转动，降低传动轮部件内轴承部件外圈和内圈间的相对转速，降低摩擦发热，延长使用寿命。

技术领域

本发明涉及真空泵技术领域，尤其涉及一种高速真空泵。

背景技术

罗茨真空泵和螺杆真空泵都是属于一种容积式真空泵，通过两个相互啮合的转子部件转动来实现泵腔内气体的转移。比如，罗茨真空泵以泵腔内成对啮合的转子进行同步旋转，该啮合转子的结构形状能够在旋转时封闭进气口和排气口的连接，从而啮合转子旋转一圈可以排出泵腔内扣除转子容积以外的气体的容积。该体积就是罗茨真空泵的基础抽气能力，同样对于螺杆真空泵来说，其泵腔内成对啮合螺杆转子进行同步旋转，该螺杆转子的第一级螺环对腔体内的气体进行封闭，然后通过螺旋传递到排气口，第一级螺环所带走的气体，也就是螺环旋转一圈可以排出第一级螺环对应的螺杆泵腔扣除螺环转子容积以外的气体的容积，该体积就是螺杆真空泵的基础抽气能力。

因此通过上述描述我们可以看出，罗茨真空泵和螺杆真空泵的基础抽气能力主要就是以泵腔的容积和啮合转子转速来决定的(而实际抽气能力则是小于基础抽气能力，主要影响因素是啮合转子之间的间隙，泵腔与啮合转子的间隙，以及进气口与排气口的压差导致的间隙返流，从而造成抽气效率比，该效率比在85-90％左右，一般无法改变)。

在实际应用中，所有的客户和制造者都希望需求的是，该罗茨真空泵或螺杆真空泵属于较小的外形尺寸，但又能满足非常大的抽气能力。从客户角度来说，同等抽气能力下的真空泵，体积越小，则使用布置起来则更加的方便，占用的空间就越小，后续的维护，安装，更换也就更加的方便。尤其现在越来越多的工业应用中采用真空技术的系统都是模块花集成构造，当真空泵的体积越小，则对工艺系统模块化设计上则更可以利用空间效率。而对于制造者来说，同等抽气能力下的真空泵，体积越小，则必然减少了耗用的原材料和加工耗时，更会降低了装配的人工量，大幅降低了生产成本的同时还提高了产品的竞争优势。

那么在同等抽气能力的真空泵，只有通过提高转速，才可以满足抽气能力的同时减小真空泵的外形尺寸。例如，同等抽气能力罗茨真空泵或螺杆真空泵若是可以提高1.5倍转速，则其外形尺寸会小16％，整体的重量会降低25％，材料成本会直接降20％左右，低若是可以提高到2.0倍的转速，则其外形尺寸会小25％，整体的重量会降低35％，材料成本会直接降27％左右。