[发明专利]一种用于晶圆贴膜中多种膜兼容的贴膜装置

权利要求书

1.一种用于晶圆贴膜中多种膜兼容的贴膜装置，包括外壳(23)，其特征在于：所述外壳(23)的内部安装有绕膜机构，绕膜机构包括安装在外壳(23)侧壁上的新膜固定轴(1)，所述新膜固定轴(1)的一侧下方安装有第一滚轮(2)，所述第一滚轮(2)的下方一侧安装有第二滚轮(3)，所述第二滚轮(3)的下方一侧安装有第五滚轮(6)，所述第五滚轮(6)的一侧安装有第六滚轮(7)，所述第五滚轮(6)的另一侧安装有第七滚轮(10)，所述第七滚轮(10)的一侧安装有第八滚轮(11)，所述第八滚轮(11)的下方一侧安装有第九滚轮(13)，所述第六滚轮(7)的下方一侧安装有摆锤(9)，所述第六滚轮(7)的上方一侧安装有保护膜收膜轴(8)，所述第九滚轮(13)的一侧安装有贴膜滚轮(14)，所述贴膜滚轮(14)的外侧安装有拉膜机构，拉膜机构外侧安装有第十五滚轮(20)，所述第十五滚轮(20)的上部一侧安装有纺锤轴(21)，所述纺锤轴(21)的上方安装有废膜卷膜轴(22)，不同的滚轮均安装在侧壁上，且能够自由转动。

2.根据权利要求1所述的用于晶圆贴膜中多种膜兼容的贴膜装置，其特征在于：所述新膜固定轴(1)的下方安装有第三滚轮(4)，所述第五滚轮(6)的上方安装有第四滚轮(5)。

3.根据权利要求1所述的用于晶圆贴膜中多种膜兼容的贴膜装置，其特征在于：所述第九滚轮(13)的下方安装有预切割膜分离装置(12)，所述预切割膜分离装置(12)是一个斜坡型的三角体。

4.根据权利要求1所述的用于晶圆贴膜中多种膜兼容的贴膜装置，其特征在于：拉膜机构下面连有丝杆和导轨，通过马达控制移动，拉膜机构由5套滚轮组成，包括第十滚轮(15)、第十一滚轮(16)、第十二滚轮(17)、第十三滚轮(18)和第十四滚轮(19)，所述第十滚轮(15)由装在同一个轴上的两个分滚轮组成，两个分滚轮中间有空隙，靠近侧壁的位置装有弹簧，两个分滚轮可以自由转动，同时可以沿轴向移动，所述第十一滚轮(16)也是由两个分滚轮组成，两个分滚轮装在同一根轴上，两个分滚轮不能沿轴自由转动，但可以沿轴向移动，轴向移动是由两个气缸分别控制，同时有两个气缸控制轴的移动，所述第十滚轮(15)和第十一滚轮(16)共同动作，保证贴膜时把膜拉平。

5.根据权利要求1所述的用于晶圆贴膜中多种膜兼容的贴膜装置，其特征在于：所述新膜固定轴(1)、保护膜收膜轴(8)和废膜卷膜轴(22)均通过皮带和皮带轮连接有扭力马达，轴上安装有膨胀气缸，膨胀气缸有开关控制。

6.根据权利要求2所述的用于晶圆贴膜中多种膜兼容的贴膜装置，其特征在于：所述第二滚轮(3)、第五滚轮(6)和贴膜滚轮(14)的两端均安装有气缸，两个气缸通过连接件控制第二滚轮(3)的位置，气缸通过连杆固定在侧壁上，所述第三滚轮(4)和第四滚轮(5)的一端安装有步进马达。

7.根据权利要求1所述的用于晶圆贴膜中多种膜兼容的贴膜装置，其特征在于：所述摆锤(9)的侧壁装有位置检测传感器，所述第二滚轮(3)和第三滚轮(4)之间以及第四滚轮(5)和第五滚轮(6)之间均安装有位置检测传感器。