[发明专利]辅助WAT生产监控的方法及装置在审
| 申请号： | 202210235438.2 | 申请日： | 2022-03-11 |
| 公开（公告）号： | CN114609500A | 公开（公告）日： | 2022-06-10 |
| 发明（设计）人： | 余燕萍;刑阳阳 | 申请（专利权）人： | 上海华力集成电路制造有限公司 |
| 主分类号： | G01R31/26 | 分类号： | G01R31/26;G01R31/28 |
| 代理公司： | 上海浦一知识产权代理有限公司 31211 | 代理人： | 刘昌荣 |
| 地址： | 201203*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 辅助 wat 生产 监控 方法 装置 | ||
1.一种辅助WAT生产监控的方法，其特征在于，至少包括：
步骤一、持续获取多个WAT机台的测试信息、机台状态以及置于所述WAT机台中晶圆的lot信息；
步骤二、将多个所述WAT机台的所述测试信息、所述机台状态以及置于所述WAT机台中的所述lot信息整合至显示界面，所述显示界面用于显示每个所述WAT机台对应的所述测试信息、所述机台状态以及所述lot信息；
步骤三、根据所述显示界面筛选出符合设置条件的所述WAT机台中的所述lot信息。
2.根据权利要求1所述的辅助WAT生产监控的方法，其特征在于：步骤一中的所述测试信息包括每个所述WAT机台的编号、每组所述lot的编号、探针卡、测试条件、每组所述lot的开始测试时间以及预计测试时间、每组所述lot的需测试的晶圆片数以及已测试晶圆片数。
3.根据权利要求2所述的辅助WAT生产监控的方法，其特征在于：步骤二和步骤三中根据每个所述WAT机台的编号按顺序排列显示在所述显示界面。
4.根据权利要求1所述的辅助WAT生产监控的方法，其特征在于：步骤一中所述测试信息由所述WAT机台的EST_Info.txt文件获取。
5.根据权利要求1所述的辅助WAT生产监控的方法，其特征在于：步骤一中所述机台状态和所述lot信息均由制造执行系统获取。
6.根据权利要求1所述的辅助WAT生产监控的方法，其特征在于：步骤一中的所述机台状态包括闲置、正常运转、维修、等待和检测中。
7.根据权利要求1所述的辅助WAT生产监控的方法，其特征在于：步骤三中所述WAT机台中无需测试的所述lot，则不显示所述lot的编号。
8.根据权利要求1所述的辅助WAT生产监控的方法，其特征在于：步骤一至三中的所述WAT机台包括在线测试和最终测试。
9.根据权利要求8所述的辅助WAT生产监控的方法，其特征在于：步骤三中所述设置条件为：等待时间小于2小时的所需所述在线测试和所述最终测试的所述WAT机台。
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