[发明专利]辅助WAT生产监控的方法及装置

说明书

本发明提供一种辅助WAT生产监控的方法，持续获取多个WAT机台的测试信息、机台状态以及置于WAT机台中晶圆的lot信息；将多个WAT机台的测试信息、机台状态以及置于WAT机台中的lot信息整合至显示界面，显示界面用于显示每个WAT机台对应的测试信息、机台状态以及lot信息；根据显示界面筛选出符合设置条件的WAT机台中的lot信息。本发明的方法可监控WAT机台测试lot状态，帮助判断待测lot测试顺序，提高了监控效率。

技术领域

本发明涉及半导体技术领域，特别是涉及一种辅助WAT生产监控的方法及装置。

背景技术

WAT是英文Wafer Acceptance Test的缩写，意思是晶圆接受测试，业界也称WAT为工艺控制监测(Process Control Monitor，PCM)。WAT是在晶圆产品流片结束之后和品质检验之前，测量特定测试结构的电性参数。WAT的目的是通过测试晶圆上特定测试结构的电性参数，检测每片晶圆产品的工艺情况，评估半导体制造过程的质量和稳定性，判断晶圆产品是否符合该工艺技术平台的电性规格要求。WAT数据可以作为晶圆产品交货的质量凭证，另外WAT数据还可以反映生产线的实际生产情况，通过收集和分析WAT数据可以监测生产线的情况，也可以判断生产线变化的趋势，对可能发生的情况进行预警。

WAT测试可以分为inline(在线)WAT、Final(最终)WAT。Inline WAT是在inter-metal(金属间化合物)阶段对器件做测试，Final WAT是在晶圆整个制程完成后对器件进行测试。

现有技术中查看线上lot测试信息(如测试lot使用的探针卡，测试时间，预计结束时间等)需要逐个机台查看；机台逐渐增多，人为逐个机台查询较浪费人力。

为此，需要一种辅助WAT生产监控的方法快速查看所有WAT机台信息(如机台状况、使用探针卡，测试lot信息)和待测lot的信息。

发明内容

鉴于以上所述现有技术的缺点，本发明的目的在于提供一种辅助WAT生产监控的方法，用于解决现有技术中查看线上lot测试信息需要逐个机台查看；机台逐渐增多，人为逐个机台查询较浪费人力的问题。

为实现上述目的及其他相关目的，本发明提供一种辅助WAT生产监控的方法，包括：

步骤一、持续获取多个WAT机台的测试信息、机台状态以及置于所述WAT机台中的lot信息；

步骤二、将多个所述WAT机台的所述测试信息、所述机台状态以及置于所述WAT机台中的所述lot信息整合至显示界面，所述显示界面用于显示每个所述WAT机台对应的所述测试信息、所述机台状态以及所述lot信息；

步骤三、根据所述显示界面筛选出符合设置条件的所述WAT机台中的所述lot信息。

优选地，步骤一中的所述测试信息包括每个所述WAT机台的编号、每组所述lot的编号、探针卡、测试条件、每组所述lot的开始测试时间以及预计测试时间、每组所述lot的需测试的晶圆片数以及已测试晶圆片数。

优选地，步骤二和步骤三中根据每个所述WAT机台的编号按顺序排列显示在所述显示界面。

优选地，步骤一中所述测试信息由所述WAT机台的EST_Info.txt文件获取。

优选地，步骤一中所述机台状态和所述lot信息均由制造执行系统获取。

优选地，步骤一中的所述机台状态包括闲置、正常运转、维修、等待和检测中。

优选地，步骤三中所述WAT机台中无需测试的所述lot，则不显示所述lot的编号。

优选地，步骤一至三中的所述WAT机台包括在线测试和最终测试。