[发明专利]一种半导体晶圆槽式清洗机用自动清洗槽

权利要求书

1.一种半导体晶圆槽式清洗机用自动清洗槽，包括机架（1），其特征在于：还包括安装在所述机架（1）上的槽盖（11）、清洗槽体（12）、支撑装置、过滤装置以及冲洗装置；

两个所述槽盖（11）铰接设置在所述机架（1）的顶部两侧，所述清洗槽体（12）固定安装在所述机架（1）的内壁；

支撑装置，所述支撑装置包括用于盛放晶圆的花篮（2）以及滚轮（22），所述支撑装置位于所述清洗槽体（12）的内部，所述滚轮（22）将所述花篮（2）内的晶圆支撑后带动晶圆做圆周转动，多个所述滚轮（22）的轴心处均固定连接有驱动轴（23），所述驱动轴（23）的一端贯穿并延伸至所述机架（1）的外部；

过滤装置，所述过滤装置设置在所述清洗槽体（12）的下表面，并对所述清洗槽体（12）内的清洗液进行过滤后再导流至所述冲洗装置内，所述过滤装置包括上管道（3）、下管道（31）、控制下管道（31）流量的流量控制阀（32）、过滤机构以及收集机构，清洗液对晶圆清洗后从所述上管道（3）以及所述下管道（31）流至所述过滤机构进行过滤；

所述过滤机构包括外筒（4），所述外筒（4）的外表面通过支撑架与所述清洗槽体（12）的下表面固定安装，所述外筒（4）的一端通过轴承安装有转动轴（41），所述转动轴（41）的一端贯穿并延伸至所述外筒（4）的一端外部；

冲洗装置，所述冲洗装置位于所述清洗槽体（12）的下方，所述冲洗装置包括搅拌机构和冲洗机构，所述搅拌机构对所述过滤装置过滤后的清洗液进行加热搅拌，所述冲洗机构抽吸搅拌机构内的清洗液对所述清洗槽体（12）内的晶圆进行冲洗；

冲洗机构，所述冲洗机构包括抽水泵（7）以及旋转喷头（72），所述抽水泵（7）将加热搅拌的清洗液抽起后从所述旋转喷头（72）内向上喷出冲洗晶圆；

所述搅拌机构包括搅拌罐（6），所述搅拌罐（6）的内壁转动连接有搅拌桨（61）；

所述机架（1）的外侧面固定安装有驱动外壳（8），所述驱动外壳（8）的内侧壁固定安装有驱动电机（81），所述驱动电机（81）的输出轴一端与搅拌桨（61）的一端通过联轴器固定安装，所述驱动电机（81）通过同步带与同步轮的配合驱动所述驱动轴（23）和所述转动轴（41）同步转动，所述清洗槽体（12）的外表面两侧均固定安装有加热块（82），所述清洗槽体（12）的下表面固定安装有呈矩形阵列分布的超声波发生器（83）。

2.根据权利要求1所述的一种半导体晶圆槽式清洗机用自动清洗槽，其特征在于：所述花篮（2）放置在所述清洗槽体（12）的内底壁的同时，晶圆被所述滚轮（22）向上滚动撑起后，脱离所述花篮（2），所述清洗槽体（12）的截面呈倒梯形状，所述清洗槽体（12）的内底壁两侧固定安装有呈矩形阵列分布的斜撑（21），多个所述滚轮（22）均一一对应安装在多个所述斜撑（21）的一端，多个所述滚轮（22）同轴心分布。

3.根据权利要求1所述的一种半导体晶圆槽式清洗机用自动清洗槽，其特征在于：所述上管道（3）的顶端贯穿并延伸至所述清洗槽体（12）的两侧内壁处，所述下管道（31）的顶端贯穿并延伸至所述清洗槽体（12）的内底壁，所述流量控制阀（32）固定安装在所述下管道（31）上控制清洗液的流量。

4.根据权利要求1所述的一种半导体晶圆槽式清洗机用自动清洗槽，其特征在于：位于所述外筒（4）内的所述转动轴（41）表面固定套接有具有锥度且带有滤孔的过滤罩（42），所述转动轴（41）的一端固定安装有位于所述过滤罩（42）内部的出水转筒（43），所述上管道（3）的一端贯穿所述外筒（4）并延伸至所述出水转筒（43）靠近所述转动轴（41）的一端，之后所述上管道（3）的一端与所述出水转筒（43）的外表面通过旋转接头转动连接，所述外筒（4）靠近所述转动轴（41）一端的外表面固定连通有出水管道（44）。

5.根据权利要求4所述的一种半导体晶圆槽式清洗机用自动清洗槽，其特征在于：所述出水转筒（43）的外表面固定安装有活动设置在所述过滤罩（42）内部的螺旋罩（45），所述螺旋罩（45）由罩体和螺旋片构成，所述螺旋片的一端延伸固定安装在所述出水转筒（43）的外表面。