[发明专利]射频探针及其制作方法

权利要求书

1.一种射频探针，其特征在于，包括一个同轴电缆和一个接地金属套，所述同轴电缆包括具有共同中心轴的内导体芯、内电介质和外导体；所述同轴电缆包括一个内导体芯被暴露的剥离端，所述被暴露的内导体芯被加工形成信号接触针头；所述接地金属套包括沿所述信号接触针头同一指向的接地接触针头，其中所述接地金属套被套入固定并电连接到所述同轴电缆的外导体上。

2.根据权利要求1所述的射频探针，其特征在于，所述接地金属套还包括具有直径为D1的圆柱形开口和具有直径D2的另一段开口，所述直径D1与所述同轴电缆的外导体的外径相匹配。

3.根据权利要求1所述的射频探针，其特征在于，所述接地金属套还包括在所述暴露内导体芯周围的阻抗控制腔。

4.根据权利要求3所述的射频探针，其特征在于，所述阻抗控制腔内充满空气。

5.根据权利要求3所述的射频探针，其特征在于，所述阻抗控制腔填充介电常数小于所述同轴电缆的内电介质的介电常数。

6.根据权利要求2所述的射频探针，其特征在于，所述直径D2小于所述直径D1，使得在所述接地金属套中形成台阶，所述台阶面于所述同轴电缆剥离端面对齐。

7.根据权利要求2所述的射频探针，其特征在于，所述接地金属帽的圆柱形开口与所述同轴电缆中心轴的同轴。

8.根据权利要求1所述的射频探针，其特征在于，所述信号接触针头和所述接地接触针头包括彼此相邻的平行表面。

9.根据权利要求1所述的射频探针，其特征在于，所述探针阻抗匹配为50欧姆。

10.根据权利要求1所述的射频探针，其特征在于，所述信号接触针头与所述接地接触针头端面对齐。

11.根据权利要求1所述的射频探针，其特征在于，所述信号接触针头与所述接地接触针头接触底面对齐。