[发明专利]一种平面靶材侧边打磨方法在审
申请号: | 202210245390.3 | 申请日: | 2022-03-13 |
公开(公告)号: | CN114770387A | 公开(公告)日: | 2022-07-22 |
发明(设计)人: | 刘毅华;余芳;刘佰玲;雷永杰;林昊;裴炜炀 | 申请(专利权)人: | 先导薄膜材料(广东)有限公司 |
主分类号: | B24D5/02 | 分类号: | B24D5/02;B24B9/00 |
代理公司: | 清远市清城区诺誉知识产权代理事务所(普通合伙) 44815 | 代理人: | 龚元元 |
地址: | 511500 广东省清*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 平面 侧边 打磨 方法 | ||
1.一种平面靶材侧边打磨方法,其特征在于,涉及一种砂轮,所述砂轮包括为旋转体的本体,所述本体沿其旋转轴在其外壁上依次设有圆柱段、圆弧过渡段和第一环形坡面段,所述圆弧过渡段为喇叭状,所述圆弧过渡段的较大端与圆柱段连接,所述圆弧过渡段的较小端与第一环形坡面段的较大端连接;还包括以下步骤:
步骤1:固定平面靶材,使砂轮的旋转轴垂直于平面靶材的平面,让砂轮的圆柱段对平面靶材的侧边进行打磨;
步骤2:沿砂轮的旋转轴的长度方向移动砂轮,让砂轮的圆弧过渡段对平面靶材的侧边进行倒圆角加工,或让砂轮的第一环形坡面段对平面靶材的侧边进行斜边打磨;
所述步骤1中砂轮在打磨时的转速等于步骤2中砂轮在打磨时的转速;
所述圆弧过渡段的中截面的直径为圆柱段的直径的0.7-0.9倍;所述第一环形坡面段的中截面的直径为圆柱段的直径的0.6-0.8倍。
2.根据权利要求1所述的平面靶材侧边打磨方法,其特征在于,所述圆弧过渡段的中截面的直径为圆柱段的直径的0.75-0.85倍;所述第一环形坡面段的中截面的直径为圆柱段的直径的0.65-0.75倍。
3.根据权利要求1所述的平面靶材侧边打磨方法,其特征在于,所述第一环形坡面段远离圆弧过渡段的一端连接有第二环形坡面段,所述第二环形坡面段的较大端与第一环形坡面段的较小端连接,所述第一环形坡面段的坡度大于所述第二环形坡面段的坡度。
4.根据权利要求3所述的平面靶材侧边打磨方法,其特征在于,所述第一环形坡面段的母线和旋转轴之间的夹角为10-80度。
5.根据权利要求3所述的平面靶材侧边打磨方法,其特征在于,所述第二环形坡面段的中截面的直径为圆柱段的直径的0.3-0.6倍。
6.根据权利要求5所述的平面靶材侧边打磨方法,其特征在于,所述第二环形坡面段的中截面的直径为圆柱段的直径的0.35-0.55倍。
7.根据权利要求3所述的平面靶材侧边打磨方法,其特征在于,所述第二环形坡面段的较小端沿远离第一环形坡面段的方向收缩成一弧面端部。
8.根据权利要求1所述的平面靶材侧边打磨方法,其特征在于,所述圆弧过渡段的母线包括圆弧段、与旋转轴平行的直线段,所述圆弧段的弯曲角度在90度以上。
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