[发明专利]互锁条件检测方法和半导体工艺设备

权利要求书

1.一种互锁条件检测方法，应用于半导体工艺设备，其特征在于，包括：

响应于所述半导体工艺设备的动作器件的启动信号，获取所述动作器件的多个互锁列表；每个所述互锁列表分别包括一个类别的互锁条件，以及所述互锁条件的目标条件值；

在所述互锁条件的目标条件值与获取到的实际条件值不匹配的情况下，按所述互锁条件所属的类别，存储所述互锁条件的错误信息。

2.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述在所述互锁条件的目标条件值与获取到的实际条件值不匹配的情况下，按所述互锁条件所属的类别，存储所述互锁条件的错误信息，包括：

同时获取每个所述互锁列表中包括的互锁条件的实际条件值；

在目标互锁条件的目标条件值与实际条件值不匹配的情况下，生成所述目标互锁条件的错误信息；

在预先设置的多个存储区域中的目标存储区域存储所述目标互锁条件的错误信息；所述目标存储区域与所述目标互锁条件的类别对应。

3.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述在所述互锁条件的目标条件值与获取到的实际条件值不匹配的情况下，按所述互锁条件所属的类别，存储所述互锁条件的错误信息，包括：

依次获取每个所述互锁列表中包括的互锁条件的实际条件值；

在目标互锁条件的目标条件值与实际条件值不匹配的情况下，生成所述目标互锁条件的错误信息；

在预先设置的多个存储区域中的目标存储区域存储所述目标互锁条件的错误信息；所述目标存储区域与所述目标互锁条件的类别对应。

4.根据权利要求2或3所述的方法，其特征在于，还包括：

在所述目标存储区域的标志位设置错误标识，以标识所述目标互锁条件所属类别中的互锁条件不满足。

5.根据权利要求2或3所述的方法，其特征在于，所述存储区域中包括对应类别的每个互锁条件的存储位置；所述在预先设置的多个存储区域中的目标存储区域存储所述目标互锁条件的错误信息，包括：

在所述目标存储区域中确定所述目标互锁条件的目标存储位置，并在所述目标存储位置存储所述目标互锁条件的错误信息。

6.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述多个互锁列表中包括第一互锁列表、第二互锁列表和第三互锁列表；

其中，所述第一互锁列表中的互锁条件为所述半导体工艺设备中与所述动作器件关联的至少一个其它动作器件的器件标识，所述第一互锁列表中的目标条件值为所述其他动作器件的目标开关状态；所述第二互锁列表中的互锁条件为与所述动作器件关联的、所述半导体工艺设备的至少一项工艺参数的参数标识，所述第二互锁列表中的目标条件值为所述工艺参数的目标参数状态；所述第三互锁列表中的互锁条件为与所述动作器件关联的、所述半导体工艺设备中的至少一项系统状态的状态标识，所述第三互锁列表中的目标条件值为所述系统状态的目标系统状态。

7.根据权利要求6所述的方法，其特征在于，所述动作器件包括所述半导体工艺设备中的阀门、腔室门和泵。

8.一种半导体工艺设备，其特征在于，所述半导体工艺设备包括动作器件和下位机，所述下位机用于响应于所述动作器件的启动信号，获取所述动作器件的多个互锁列表；每个所述互锁列表分别包括一个类别的互锁条件，以及所述互锁条件的目标条件值；所述下位机还用于在所述互锁条件的目标条件值与获取到的实际条件值不匹配的情况下，按所述互锁条件所属的类别，存储所述互锁条件的错误信息。

9.根据权利要求8所述的半导体工艺设备，其特征在于，所述半导体工艺设备中还包括与所述下位机连接的上位机；所述下位机还用于向所述上位机发送所述错误信息，以使所述上位机显示所述错误信息。

10.根据权利要求8或9所述的半导体工艺设备，其特征在于，所述动作器件包括所述半导体工艺设备中的阀门、腔室门和泵。