[发明专利]互锁条件检测方法和半导体工艺设备

说明书

本发明实施例提供了一种互锁条件检测方法和半导体工艺设备，应用于半导体装备技术领域，该方法包括：在互锁条件的检测过程中，响应于半导体工艺设备的动作器件的启动信号，获取动作器件的多个互锁列表，每个互锁列表分别包括一个类别的互锁条件，以及互锁条件的目标条件值，在互锁条件的目标条件值与获取到的实际条件值不匹配的情况下，按互锁条件所属的类别，存储互锁条件的错误信息。动作器件的多个互锁条件划分为多个类别，根据互锁条件的类别存储互锁条件的错误信息时，在故障排查阶段，可以缩小故障排查范围，快速确定故障点，可以提高故障排查效率。

技术领域

本发明涉及半导体装备技术领域，特别是涉及一种互锁条件检测方法和半导体工艺设备。

背景技术

在半导体工艺设备的控制中，通常会为动作器件设置多个互锁条件。半导体工艺设备中的下位机在控制动作器件动作之前，首先检测各项互锁条件是否满足，若存在不满足的互锁条件，则触发互锁，禁止动作器件动作，以提高半导体工艺设备在运行过程中的安全性和可靠性。

其中，下位机在检测到某个互锁条件不满足时，不仅可以触发互锁，禁止动作器件动作，而且会记录互锁条件不满足的错误信息。在后续的故障排查阶段，用户可以根据记录，查找故障点。由于半导体工艺设备涉及的工艺较为复杂，因此会存在较多种类和数量的互锁条件，现有技术中根据记录查找故障点时，无法快速的确定故障点。

发明内容

本发明实施例所要解决的技术问题是半导体工艺设备在故障排查阶段无法快速确定故障点的问题。

为了解决上述问题，本发明实施例第一方面公开了一种互锁条件检测方法，应用于半导体工艺设备，包括：

响应于所述半导体工艺设备的动作器件的启动信号，获取所述动作器件的多个互锁列表；每个所述互锁列表分别包括一个类别的互锁条件，以及所述互锁条件的目标条件值；

在所述互锁条件的目标条件值与获取到的实际条件值不匹配的情况下，按所述互锁条件所属的类别，存储所述互锁条件的错误信息。

可选地，所述在所述互锁条件的目标条件值与获取到的实际条件值不匹配的情况下，按所述互锁条件所属的类别，存储所述互锁条件的错误信息，包括：

同时获取每个所述互锁列表中包括的互锁条件的实际条件值；

在目标互锁条件的目标条件值与实际条件值不匹配的情况下，生成所述目标互锁条件的错误信息；

在预先设置的多个存储区域中的目标存储区域存储所述目标互锁条件的错误信息；所述目标存储区域与所述目标互锁条件的类别对应。

可选地，所述在所述互锁条件的目标条件值与获取到的实际条件值不匹配的情况下，按所述互锁条件所属的类别，存储所述互锁条件的错误信息，包括：

依次获取每个所述互锁列表中包括的互锁条件的实际条件值；

在目标互锁条件的目标条件值与实际条件值不匹配的情况下，生成所述目标互锁条件的错误信息；

在预先设置的多个存储区域中的目标存储区域存储所述目标互锁条件的错误信息；所述目标存储区域与所述目标互锁条件的类别对应。

可选地，该方法还包括：

在所述目标存储区域的标志位设置错误标识，以标识所述目标互锁条件所属类别中的互锁条件不满足。

可选地，所述存储区域中包括对应类别的每个互锁条件的存储位置；所述在预先设置的多个存储区域中的目标存储区域存储所述目标互锁条件的错误信息，包括：

在所述目标存储区域中确定所述目标互锁条件的目标存储位置，并在所述目标存储位置存储所述目标互锁条件的错误信息。