[发明专利]表面检查装置及表面检查方法

权利要求书

1.一种表面检查装置，其具有：

检查区域设定部，其在检查对象的表面设定检查区域；

粗略检查机，其对所述检查区域进行检查；以及

精细检查机，其比所述粗略检查机高精度地对由所述粗略检查机检查过的所述检查区域进行检查。

2.根据权利要求1所述的表面检查装置，其中，

所述检查区域设定部在所述检查对象的表面设定多个所述检查区域，

所述粗略检查机对多个所述检查区域各自依次进行检查，

该表面检查装置具有选择部，该选择部基于所述粗略检查机的检查数据，从多个所述检查区域对特定的检查区域进行选择，

所述精细检查机对由所述选择部选择出的检查区域进行检查。

3.根据权利要求2所述的表面检查装置，其中，

所述选择部基于所述粗略检查机的检查数据和规定的规则，将选择出的多个检查区域进行排序，

所述精细检查机按照由所述选择部排序的排位对所述检查区域依次进行检查。

4.根据权利要求3所述的表面检查装置，其中，

所述规则包含有在所述检查对象的表面形成的伤痕的深度。

5.根据权利要求3所述的表面检查装置，其中，

所述规则包含有在所述检查对象的表面形成的伤痕的面积。

6.根据权利要求3所述的表面检查装置，其中，

所述规则包含有在所述检查对象的表面形成的伤痕和所述粗略检查机的检查结束时刻的所述精细检查机之间的距离。

7.根据权利要求3至6中任一项所述的表面检查装置，其中，

具有合格与否判定部，该合格与否判定部基于所述精细检查机的检查数据，对所述检查对象的合格与否进行判定，

所述合格与否判定部在由所述选择部选择出的多个检查区域之中的一部分的检查区域被所述精细检查机检查完的时刻，对所述检查对象的合格与否进行判定。

8.根据权利要求7所述的表面检查装置，其中，

所述精细检查机在所述合格与否判定部判定出所述检查对象的合格与否的时刻，结束所述检查区域的检查。

9.根据权利要求2至8中任一项所述的表面检查装置，其中，

所述粗略检查机基于照度差立体法对所述检查区域进行拍摄，

该表面检查装置具有：

检查数据取得部，其取得由所述粗略检查机拍摄到的图像数据；

平均化部，其对由所述检查数据取得部取得的所述图像数据进行平均化处理；以及

差分图像数据生成部，其生成由所述检查数据取得部取得的图像数据和由所述平均化部进行平均化处理后的图像数据的差分图像数据，

所述选择部基于所述差分图像数据对检查区域进行选择。

10.根据权利要求1至9中任一项所述的表面检查装置，其中，

具有：

连结部件，其将所述粗略检查机和所述精细检查机进行连结；以及

驱动装置，其使所述粗略检查机和所述精细检查机一起移动。

11.根据权利要求10所述的表面检查装置，其中，

所述驱动装置在通过所述粗略检查机进行的规定的检查区域的检查结束后为了开始下一个检查区域的检查而使所述粗略检查机以第1移动速度移动，在通过所述精细检查机进行的规定的检查区域的检查结束后为了开始下一个检查区域的检查而使所述精细检查机以第2移动速度移动，

所述第2移动速度低于所述第1移动速度。

12.一种表面检查方法，其包含：

通过粗略检查机对在检查对象的表面设定的多个检查区域各自依次进行检查；

基于所述粗略检查机的检查数据，从所述多个检查区域对特定的检查区域进行选择；

利用精细检查机，比所述粗略检查机高精度地对选择出的检查区域进行检查；以及

基于所述精细检查机的检查数据，对所述检查对象的合格与否进行判定。