[发明专利]表面检查装置及表面检查方法

说明书

以短时间且高精度地对检查对象的表面的状态进行检查。表面检查装置具有：检查区域设定部，其在检查对象的表面设定检查区域；粗略检查机，其对检查区域进行检查；以及精细检查机，其比粗略检查机高精度地对由粗略检查机检查过的检查区域进行检查。

技术领域

本发明涉及表面检查装置及表面检查方法。

背景技术

在金属产品的制造工序中，使用专利文献1所公开的那样的表面检查装置。

专利文献1：日本特开2020－109374号公报

有可能由于磨削加工或切削加工而在金属产品的表面形成被称为工具痕迹的微细的伤痕。希望能够以短时间且高精度地对在金属产品的表面形成的微细的伤痕的状态进行检查的技术。

发明内容

本发明的目的在于，以短时间且高精度地对检查对象的表面的状态进行检查。

按照本发明，提供一种表面检查装置，其具有：检查区域设定部，其在检查对象的表面设定检查区域；粗略检查机，其对检查区域进行检查；以及精细检查机，其比粗略检查机高精度地对由粗略检查机检查过的检查区域进行检查。

发明的效果

根据本发明，能够以短时间且高精度地对检查对象的表面的状态进行检查。

附图说明

图1是示意地表示实施方式所涉及的表面检查装置的俯视图。

图2是示意地表示实施方式所涉及的表面检查装置的侧视图。

图3是表示实施方式所涉及的控制装置的功能框图。

图4是表示实施方式所涉及的表面检查方法的流程图。

图5是用于对实施方式所涉及的检查区域进行说明的图。

图6是表示实施方式所涉及的检测部的框图。

图7是用于对实施方式所涉及的检测部的处理进行说明的图。

具体实施方式

下面，参照附图对本发明所涉及的实施方式进行说明，但本发明不受实施方式限定。以下进行说明的实施方式的结构要素能够适当组合。另外，有时不使用一部分的结构要素。

在实施方式中，设定3维正交坐标系，参照该3维正交坐标系对各部的位置关系进行说明。将平行于规定面的X轴的方向设为X轴方向，将在规定面平行于与X轴正交的Y轴的方向设为Y轴方向。将平行于与规定面正交的Z轴的方向设为Z轴方向。将以X轴为中心的旋转或倾斜方向设为θX方向。将以Y轴为中心的旋转或倾斜方向设为θY方向。将以Z轴为中心的旋转或倾斜方向设为θZ方向。XY平面为规定面。在实施方式中，XY平面和水平面设为平行。此外，XY平面也可以相对于水平面倾斜。

[表面检查装置]

图1是示意地表示实施方式所涉及的表面检查装置1的俯视图。图2是示意地表示实施方式所涉及的表面检查装置1的侧视图。如图1及图2所示，表面检查装置1具有保持部件2、粗略检查机3、精细检查机4、连结部件5、驱动装置6和控制装置7。

保持部件2对表面检查装置1的检查对象W进行保持。在实施方式中，检查对象W为金属产品。作为金属产品，例示出铸造品。

粗略检查机3对保持部件2所保持的检查对象W的表面进行检查。粗略检查机3配置于比保持部件2靠上方的位置。粗略检查机3从检查对象W的上方对检查对象W的表面进行检查。

精细检查机4对保持部件2所保持的检查对象W的表面进行检查。精细检查机4配置于比保持部件2靠上方的位置。精细检查机4从检查对象W的上方对检查对象W的表面进行检查。