[发明专利]一种管靶外包套内壁氧化皮的处理方法

说明书

本发明提供了一种管靶外包套内壁氧化皮的处理方法，所述处理方法包括对外包套内壁依次进行至少两次喷砂处理，去除外包套内壁的氧化皮；在喷砂处理过程中，采用的喷砂砂料的喷射量和/或喷射速度逐级递增。对氧化皮进行多次喷砂处理，前期的喷砂处理采用低喷射量和低喷射速度对氧化皮进行初步破皮，使得氧化皮产生裂纹，便于后续清除，随后采用高喷射量和高喷射速度对氧化皮进行深度清除，通过多次喷砂，实现对氧化皮的完全清除。

技术领域

本发明属于氧化皮清除技术领域，涉及一种管靶外包套内壁氧化皮的处理方法。

背景技术

为了提高靶材的利用率，人们越来越多地制造和使用管状靶材(简称管靶)，即把靶材做成管子形状，管子里面装有静止不动的磁体。溅射过程中，管靶以一定的速度转动，所以也被叫做旋转靶材(rotating target/rotary target)。由于转动的管靶和静止不动的磁体之间发生相对运动，整个管靶表面均匀地发生溅射，靶材材料的利用率可以高达70％以上。液晶显示及触控屏行业需要的钼合金管靶，特别是成分均匀、无偏析、晶粒细小、高纯度的钼合金管靶，目前十分缺乏。

管靶通常由一个内管和一个外管组成。外管也叫靶管，其材质是溅射制备薄膜所需要的材质。内管起支撑靶管的作用，所以也叫支撑管或者衬管。已知的管靶生产方法，有用热喷涂将靶管涂覆到衬管上的(热喷涂法)，有用焊料将靶管焊接到衬管上的(钎焊法)，有直接把靶管浇铸到衬管上的(浇铸法)。热喷涂法生产的管靶结构极不均匀，含有大量的空洞，靶材材料氧化严重，只能用于玻璃等要求不高的镀膜行业。钎焊法由于靶管和衬管间的缝隙很小，焊料难以均匀地分布在缝隙中，实现靶管和衬管之间的全面焊接有一定难度。浇铸法只能用于诸如Sn、Zn等熔点较低的靶材材料。

目前，管靶常用的制备流程包括：将由靶材材料元素组成的靶材材料粉末置于包套中，在真空条件下进行热等静压形成管靶，在热等静压结束后，除去包套中的外管和固定环，得到内为衬管外为靶管的坯材，该坯材经机加工即得一体成型管靶；所述的包套包括同轴设置的内管和外管以及用于固定内管和外管的两端的固定环。

当前，在制备管靶过程中需要使用外包套，而外包套由于长期放置，其内壁会出现氧化皮，影响管靶制备，因此需要采用技术手段将其去除。

CN105014514A公开了一种去除轴承套圈安装孔内氧化皮的方法，通过在旋转装置的一端上缠绕砂纸形成一圈柔性磨粒，并将旋转装置上缠绕砂纸的一端伸入轴承套圈的安装孔内，旋转装置旋转时，其上的砂纸在离心力的作用下与安装孔内壁贴合，并且在旋转头的带动下使砂纸上的磨粒与安装孔内壁产生摩擦作用，以将安装孔内壁上的氧化皮抹掉。

CN110497321A公开了一种挤制白铜管棒材内外表面氧化皮处理方法，工艺流程依次为：锯切矫直、上料、拨料至辊轴输送机、外壁抛丸、拨料至缓冲架、内表面喷丸、内壁喷砂器退出并清洁、卸料并吹风清理；白铜管棒材的外表面受到来自抛丸室内各个方向高速不锈钢丸料的高频次打击将氧化皮去除，内壁喷砂器的喷头进入白铜管棒材内时，高压气体推动不锈钢丸料由喷头向各个方向喷出，白铜管棒材的内表面受到来自各个方向高速不锈钢丸料的高频次打击将氧化皮去除。

CN105382699A公开了一种纯镍带材表面氧化皮去除方法，涉及一种纯镍合金带经高温处理后残留在带材表面的氧化皮清除方法。其纯镍带材表面氧化皮去过程是将纯镍带在保护气氛下用氢气将氧化皮还原，退火后再经喷砂除磷处理去除氧化皮的。

综上，当前并未有现有技术公开针对管靶外包套的氧化皮去除工艺，因此需要采用技术手段将管靶外包套的氧化皮进行去除。

发明内容

针对现有技术存在的不足，本发明的目的在于提供一种管靶外包套内壁氧化皮的处理方法，对氧化皮进行多次喷砂处理，前期的喷砂处理采用低喷射量和低喷射速度对氧化皮进行初步破皮，使得氧化皮产生裂纹，便于后续清除，随后采用高喷射量和高喷射速度对氧化皮进行深度清除，通过多次喷砂，实现对氧化皮的完全清除。

为达此目的，本发明采用以下技术方案：