[发明专利]一种含孔隙靶材的清洗方法有效
| 申请号： | 202210279792.5 | 申请日： | 2022-03-21 |
| 公开（公告）号： | CN114602877B | 公开（公告）日： | 2023-05-12 |
| 发明（设计）人： | 姚力军;潘杰;王学泽;周友平;廖培君;方友华 | 申请（专利权）人： | 宁波江丰电子材料股份有限公司 |
| 主分类号： | B08B3/08 | 分类号： | B08B3/08;B08B13/00;C11D7/50;C11D7/40;C11D7/24;C11D7/26;C11D7/60 |
| 代理公司： | 北京远智汇知识产权代理有限公司 11659 | 代理人： | 牛海燕 |
| 地址： | 315400 浙江省宁波市*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 孔隙 清洗 方法 | ||
1.一种含孔隙靶材的清洗方法，其特征在于，所述清洗方法包括：对含孔隙靶材依次进行第一醇洗、第二醇洗、清洗剂清洗和烘干，得到清洗后的含孔隙靶材；
所述含孔隙靶材的致密度≤97%；所述含孔隙靶材中孔隙的孔径为3-20μm；
所述清洗剂清洗中采用的清洗剂为体积比为1:(0.06-0.18):(0.2-0.35)的煤油、汽油和柴油，含有质量浓度为0.01-0.03%的二甲酚；所述柴油为轻柴油。
2.如权利要求1所述清洗方法，其特征在于，所述第一醇洗中采用的醇包括碳原子数为3-8的醇。
3.如权利要求1所述清洗方法，其特征在于，所述第一醇洗的时间为10-30min。
4.如权利要求1所述清洗方法，其特征在于，所述第二醇洗中采用的醇包括甲醇和/或乙醇。
5.如权利要求1所述清洗方法，其特征在于，所述第二醇洗的时间为20-40min。
6.如权利要求1所述清洗方法，其特征在于，所述清洗剂清洗的时间为60-150min。
7.如权利要求1所述清洗方法，其特征在于，所述烘干包括依次进行吹干和干燥。
8.如权利要求7所述清洗方法，其特征在于，所述吹干为采用气枪对清洗后的靶材进行吹干。
9.如权利要求7所述清洗方法，其特征在于，所述吹干的时间为3-5min。
10.如权利要求7所述清洗方法，其特征在于，所述干燥为采用真空干燥箱进行干燥。
11.如权利要求7所述清洗方法，其特征在于，所述干燥的绝对真空度≤5×10-3Pa。
12.如权利要求7所述清洗方法，其特征在于，所述干燥的温度为70-100℃。
13.如权利要求7所述清洗方法，其特征在于，所述干燥的时间为12-48h。
14.如权利要求1-13任一项所述清洗方法，其特征在于，所述清洗方法包括：对含孔隙靶材依次进行第一醇洗、第二醇洗、清洗剂清洗和烘干，得到清洗后的含孔隙靶材；
所述含孔隙靶材的致密度≤97%；所述含孔隙靶材中孔隙的孔径为3-20μm；
所述第一醇洗中采用的醇包括碳原子数为3-8的醇；所述第一醇洗的时间为10-30min；
所述第二醇洗中采用的醇包括甲醇和/或乙醇；所述第二醇洗的时间为20-40min；
所述清洗剂清洗中采用的清洗剂包括体积比为1:(0.06-0.18):(0.2-0.35)的煤油、汽油和柴油；所述柴油为轻柴油；所述清洗剂中还含有质量浓度为0.01-0.03%的二甲酚；所述清洗剂清洗的时间为60-150min；
所述烘干包括依次进行吹干和干燥；所述吹干为采用气枪对清洗后的靶材进行吹干；所述吹干的时间为3-5min；所述干燥为采用真空干燥箱进行干燥；所述干燥的绝对真空度≤5×10
-3
Pa；所述干燥的温度为70-100℃；所述干燥的时间为12-48h。
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