[发明专利]拾取装置及其制作方法、显示面板在审
申请号: | 202210282112.5 | 申请日: | 2022-03-21 |
公开(公告)号: | CN114678318A | 公开(公告)日: | 2022-06-28 |
发明(设计)人: | 张攀;邹艳;陈志启 | 申请(专利权)人: | 武汉天马微电子有限公司 |
主分类号: | H01L21/683 | 分类号: | H01L21/683;H01L21/687;H01L21/68;H01L33/00;H01L27/15 |
代理公司: | 北京晟睿智杰知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 11603 | 代理人: | 于淼;白明珠 |
地址: | 430074 湖北省武*** | 国省代码: | 湖北;42 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 拾取 装置 及其 制作方法 显示 面板 | ||
1.一种拾取装置,其特征在于,包括:
微型器件,所述微型器件的一侧包括引脚,所述微型器件还包括至少一个固定结构,所述固定结构位于所述微型器件远离所述引脚的一侧;
转运基板,所述转运基板包括转移头,所述转移头包括多个凹槽;
所述凹槽的形状与所述固定结构的形状相同,且所述凹槽与所述固定结构卡合,拾取所述微型器件。
2.根据权利要求1所述的拾取装置,其特征在于,所述固定结构采用透明材料。
3.根据权利要求1所述的拾取装置,其特征在于,所述固定结构中包括量子点或者荧光粉。
4.根据权利要求1所述的拾取装置,其特征在于,包括多种颜色的所述微型器件,不同颜色的所述微型器件中所述固定结构的形状不同。
5.根据权利要求1所述的拾取装置,其特征在于,所述微型器件包括两个所述固定结构,沿第一方向上,所述固定结构关于所述微型器件的中心线对称设置;
或者,所述微型器件包括至少三个所述固定结构,沿所述第一方向上,相邻所述固定结构之间的间距相等
其中,第一方向为平行所述微型器件的方向。
6.根据权利要求1所述的拾取装置,其特征在于,沿第二方向上,所述凹槽的深度小于或等于所述固定结构的高度;
其中,所述第二方向为垂直所述转运基板的方向。
7.根据权利要求1所述的拾取装置,其特征在于,所述凹槽的尺寸大于或等于所述固定结构的尺寸,所述转移头的材质为热膨胀材质。
8.根据权利要求1所述的拾取装置,其特征在于,所述凹槽的侧壁包括第一电极,所述第一电极包括环状电极。
9.根据权利要求1所述的拾取装置,其特征在于,所述凹槽的侧壁包括第二电极,所述第二电极包括第一极板和第二极板,所述第一极板和所述第二极板分别位于所述凹槽相对的侧壁。
10.一种拾取装置的制作方法,其特征在于,用于制作上述权利要求1至9任一所述的拾取装置,包括步骤:
制作微型器件;
制作转运基板;
调节所述转运基板,使得所述微型器件中的所述固定结构插入所述转运基板中的凹槽内,将所述微型器件转移至所述转运基板上。
11.根据权利要求10所述的制作方法,其特征在于,所述转运基板将所述微型器件转运至待放置基板上;
加热所述固定结构,所述固定结构融化,且至少部分包围所述微型器件。
12.根据权利要求10所述的制作方法,其特征在于,形成所述微型器件包括:
提供第一衬底基板;
在所述第一衬底基板的一侧形成微型器件母版;
在所述微型器件母版远离所述第一衬底基板的一侧形成多个所述固定结构;
提供转运基板;
将所述微型器件母版和所述固定结构翻转至所述转运基板上,所述固定结构位于所述微型器件母版和所述转运基板之间,且使得所述固定结构插入所述转运基板中的凹槽内;
切割所述微型器件母版形成多个所述微型器件,每个所述微型器件包括至少一个固定结构。
13.根据权利要求10所述的制作方法,其特征在于,形成所述微型器件包括:
提供所述第一衬底基板;
在所述第一衬底基板的一侧形成微型器件母版;
在所述微型器件母版远离所述第一衬底基板的一侧形成固定结构层;
刻蚀所述固定结构层形成多个所述固定结构;
提供转运基板;
将所述微型器件母版和所述固定结构翻转至所述转运基板上,所述固定结构位于所述微型器件母版和所述转运基板之间,且使得所述固定结构插入所述转运基板中的凹槽内;
切割所述微型器件母版形成多个所述微型器件,每个所述微型器件包括至少一个固定结构。
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