[发明专利]一种基于Micro LED的显示装置的制作方法以及显示装置有效

专利信息
申请号: 202210286105.2 申请日: 2022-03-22
公开(公告)号: CN114664983B 公开(公告)日: 2023-03-21
发明(设计)人: 李军帅;孔玮;孙雪纯;楼巧珍;朱浩捷 申请(专利权)人: 西湖大学
主分类号: H01L33/00 分类号: H01L33/00;H01L33/62;H01L27/15
代理公司: 北京金信知识产权代理有限公司 11225 代理人: 贾然
地址: 310024 浙江省*** 国省代码: 浙江;33
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摘要:
搜索关键词: 一种 基于 micro led 显示装置 制作方法 以及
【权利要求书】:

1.一种基于Micro LED的显示装置的制作方法,其特征在于,包括:

在驱动背板上按照预定规则设置标志位;

在所述驱动背板上沿垂直方向依次设置至少一个LED外延层;

在所述驱动背板上基于所述标志位对所述LED外延层进行阶梯型光刻以实现像素的横向排布;其中,

所述在所述驱动背板上基于所述标志位对所述LED外延层进行阶梯型光刻以实现像素的横向排布,包括:刻蚀所述LED外延层,将所述LED外延层形成阶梯,使各所述LED外延层在驱动背板所在平面上像素化,以使所述LED外延层对应的像素按照所述像素排布方式实现横向排布,无需对所述像素进行垂直方向上的光隔离。

2.根据权利要求1所述的制作方法,其特征在于,所述LED外延层通过以下方式制成:

在所述LED外延层的第一面沉积n型电极层;

在所述LED外延层的第二面沉积p型电极层。

3.根据权利要求1所述的制作方法,其特征在于,还包括:

在所述LED外延层上沉积设置n型电极和p型电极。

4.根据权利要求3所述的制作方法,其特征在于,所述n型电极和所述p型电极设置在所述LED外延层的端面形成的台阶上。

5.根据权利要求3所述的制作方法,其特征在于,所述n型电极和所述p型电极为欧姆电极。

6.根据权利要求1所述的制作方法,其特征在于,还包括:

将所述LED外延层中的电极与所述驱动背板之间实现电连接。

7.根据权利要求1所述的制作方法,其特征在于,所述在驱动背板上按照预定规则设置标志位中,所述标志位的位置与基于像素排布方式的像素的位置对应。

8.根据权利要求1所述的制作方法,其特征在于,所述LED外延层与所述驱动背板之间和/或不同的所述LED外延层之间通过键合介质连接。

9.根据权利要求1所述的制作方法,其特征在于,还包括:

将所述LED外延层中的电极与所述驱动背板上的键合电极对应连接。

10.一种显示装置,其特征在于,采用上述权利要求1-9中任一项的制作方法制成。

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