[发明专利]一种基于Micro LED的显示装置的制作方法以及显示装置

说明书

本公开实施例提供一种基于Micro LED的显示装置的制作方法以及显示装置，所述制作方法包括：在驱动背板上按照预定规则设置标志位；在所述驱动背板上沿垂直方向依次设置至少一个LED外延层；在所述驱动背板上基于所述标志位对所述LED外延层进行阶梯型光刻以实现像素的横向排布。本公开实施例采用像素堆叠转移和设置的方法能够避免多次转移的键合对准操作，使得像素实现平行排布，不需进行垂直方向上的光隔离，无需进行巨量重复排布，降低工艺难度，极大的简化混色过程，有效提高Micro LED显示装置的良率，最终促成基于Micro LED显示的高性能AR/MR/VR设备的市场应用。

技术领域

本公开涉及显示装置领域，特别涉及一种基于Micro LED的显示装置的制作方法以及显示装置。

背景技术

LED即发光二极管，是一类高效的发光器件，工作在不同波长的LED即显示不同的颜色。其中，在显示领域可以根据三原色合成原理利用R(红)、G(绿)、B(蓝)三原色光源合成出任意颜色进行输出，进而根据需要应用于指示、警示或简单照明灯光，甚至结合阵列调控用于显示输出。

早期的阵列显示采用显像管显示器(CRT)，其体积庞大并且难以微型化。随后出现的液晶显示器(LCD)凭借出众的色彩表现和轻量化的体积占据了显示市场，这里LCD显示器采用背光光源发光，液晶单元阵列调控实现像素化，但是能效较低。随后，色彩呈现更为丰富、分辨率更高、更为轻便且能效更高的OLED显示器进一步占据了移动显示市场，但是OLED显示器因为材料本身问题难以承受较大电流通过而功率受限，因此，高亮显示一直是OLED显示的痛点。相比之下，半导体LED显示技术凭借高效高亮的特点在户外广告等方面具有明显优势，并在近年来逐渐向家用大屏显示领域扩展。

随着技术迭代更新和用户体验的不断提升，轻量化、微型化显示需求越来越高。特别的，随着AR、VR、MR技术的崭露头角，头戴或近眼显示设备的市场需求急剧增长。因为人眼的视觉分辨率限制，即因为晶状体的聚焦作用和视网膜细胞的受光面积有限，人眼视觉分辨率存在极限角度，这也就意味着近眼显示可分辨的尺寸(像素)更小。为了获得细腻的显示效果，微像素化是近眼显示设备的唯一选择。具体的，在一般眼镜的佩戴距离上，像素间距需要微缩至10μm以内。该尺寸的LED像素单元已属于Micro LED领域。

传统的背光显示器采用单一色彩光源，通过色彩转换层生成R、G、B三原色，但对于微米量级的像素而言，色彩转换介质的均匀性无法保证，直接利用三原色光源即Micro LED进行混色是获得高性能全彩显示的可靠手段。然而，要按照预定排布方案进行混色就需要对R、G、B三色Micro LED进行混合排布，需要考虑超高分辨率屏幕所需的Micro LED的巨大总量和Micro LED微小尺寸的特质。

现有技术中一般采用预分布转移。其中，所谓预分布转移方案，即预先将三个单一色彩的晶圆进行像素化，按照最终的像素排布方案，牺牲掉两个相同像素间的其它颜色像素的位置，最终再通过倒装嵌合实现整片晶圆尺寸的像素转移。该方案可以避免巨量像素的逐个转移，提高转移效率，但基于该方案的产品成品率将极大的依赖多次的倒装键合对准，不论是从工艺难度还是设备投入上来说，这都将是一个极大的挑战。

发明内容

本公开实施例的目的在于提供一种基于Micro LED的显示装置的制作方法以及显示装置，以解决现有技术中存在的问题。为了解决技术问题，本公开的实施例采用了如下技术方案：

一种基于Micro LED的显示装置的制作方法，其包括：在驱动背板上按照预定规则设置标志位；在所述驱动背板上沿垂直方向依次设置至少一个LED外延层；在所述驱动背板上基于所述标志位对所述LED外延层进行阶梯型光刻以实现像素的横向排布。

在一些实施例中，所述LED外延层通过以下方式制成：在所述LED外延层的第一面沉积n型电极层；在所述LED外延层的第二面沉积p型电极层。

在一些实施例中，还包括：在所述LED外延层上沉积设置n型电极和p型电极。