[发明专利]一种集成电路芯片加工用夹具在审

专利信息
申请号: 202210292501.6 申请日: 2022-03-23
公开(公告)号: CN114864467A 公开(公告)日: 2022-08-05
发明(设计)人: 赵红霞 申请(专利权)人: 赵红霞
主分类号: H01L21/683 分类号: H01L21/683;H01L21/687
代理公司: 暂无信息 代理人: 暂无信息
地址: 710000 陕*** 国省代码: 陕西;61
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摘要:
搜索关键词: 一种 集成电路 芯片 工用 夹具
【权利要求书】:

1.一种集成电路芯片加工用夹具,其结构包括装配支杆(1)、夹具主体(2),所述夹具主体(2)底端四角均固定连接有装配支杆(1),其特征在于:

所述夹具主体(2)包括装配座(a)、螺杆移动槽(b)、控制旋板(c)、螺杆(d)、滑动限位槽(e)、滑动限位杆(f)、压力指示装置(g)、减振囊(h)、顶压夹板(i)、囊槽(j)、第一压缩弹簧(k)、负压稳定装置(l)、主夹板(m)、夹持槽(n),所述装配座(a)顶端设有夹持槽(n),所述夹持槽(n)左右两端均通过螺杆移动槽(b)贯穿装配座(a),所述控制旋板(c)镶嵌设于装配座(a)顶端左右两侧,所述螺杆(d)一端贯穿控制旋板(c)中部与控制旋板(c)螺纹连接,所述螺杆(d)贯穿控制旋板(c)端设于螺杆移动槽(b)内,所述螺杆(d)另一端与主夹板(m)一端固定连接,所述主夹板(m)底端固定连接有滑动限位杆(f),所述负压稳定装置(l)镶嵌设于装配座(a)中部,所述滑动限位槽(e)设于装配座(a)内,所述滑动限位槽(e)位于负压稳定装置(l)左右两方上侧,所述滑动限位杆(f)与滑动限位槽(e)活动扣接,所述主夹板(m)另一端通过减振囊(h)固定连接有顶压夹板(i),所述减振囊(h)内部设有囊槽(j),所述囊槽(j)内设有第一压缩弹簧(k),所述第一压缩弹簧(k)左右两端与囊槽(j)左右两端固定连接,所述压力指示装置(g)镶嵌设于主夹板(m)顶端,所述压力指示装置(g)与囊槽(j)相通。

2.根据权利要求1所述的一种集成电路芯片加工用夹具,其特征在于:所述压力指示装置(g)包括指示槽(g1)、指示条(g2)、指示板(g3)、密闭套(g4)、通槽(g5),所述指示条(g2)镶嵌设于主夹板(m)顶端,所述指示条(g2)内部设有指示槽(g1),所述指示板(g3)上包覆设有密闭套(g4),所述指示板(g3)通过密闭套(g4)与指示槽(g1)过盈配合,所述指示槽(g1)右端与通槽(g5)一端相通,所述通槽(g5)另一端与减振囊(h)相通。

3.根据权利要求1所述的一种集成电路芯片加工用夹具,其特征在于:所述负压稳定装置(l)包括装配螺母(l1)、调压内槽(l2)、活动球(l3)、联动杆(l4)、活塞板(l5)、密闭环(l6)、负压装配座(l7)、吸盘(l8)、吸盘槽(l9)、调压中板(l10)、第二压缩弹簧(l11)、解锁滑块(l12)、锁定卡板(l13)、通气内槽(l14)、调压螺环(l15)、调节旋帽(l16),所述负压装配座(l7)底端固定连接有调压螺环(l15),所述负压装配座(l7)镶嵌设于装配座(a)顶端中部,所述调压螺环(l15)底端贯穿装配座(a)底端,所述吸盘(l8)镶嵌设于负压装配座(l7)顶端,所述吸盘(l8)顶端设有吸盘槽(l9),所述吸盘(l8)中部设有调压中板(l10),所述调压内槽(l2)设于负压装配座(l7)内,所述调压中板(l10)底端与调压内槽(l2)顶端相通,所述活塞板(l5)上包覆设有密闭环(l6),所述活塞板(l5)设于调压内槽(l2)内,所述活塞板(l5)内部设有活动球(l3),所述活动球(l3)底端与联动杆(l4)顶端固定连接,所述联动杆(l4)底端贯穿活塞板(l5)、调节旋帽(l16),所述通气内槽(l14)顶端与调压内槽(l2)底端相通,所述通气内槽(l14)底端由上而下贯穿调压螺环(l15)中部,所述装配螺母(l1)锁接于调压螺环(l15)上,所述装配螺母(l1)顶端与装配座(a)底端相接,所述调节旋帽(l16)套接于调压螺环(l15)上,所述调节旋帽(l16)与调压螺环(l15)螺纹连接,所述解锁滑块(l12)右端通过第二压缩弹簧(l11)与调节旋帽(l16)底端右侧镶嵌扣接,所述解锁滑块(l12)左上方与锁定卡板(l13)固定连接,所述锁定卡板(l13)左端与联动杆(l4)扣接。

4.根据权利要求3所述的一种集成电路芯片加工用夹具,其特征在于:所述锁定卡板(l13)左上方为斜面。

5.根据权利要求1所述的一种集成电路芯片加工用夹具,其特征在于:所述指示条(g2)有透明的玻璃制成。

6.根据权利要求1所述的一种集成电路芯片加工用夹具,其特征在于:所述装配座(a)上设有成镜像装配的两个螺杆移动槽(b)、控制旋板(c)、螺杆(d)、滑动限位槽(e)、滑动限位杆(f)、压力指示装置(g)、减振囊(h)、顶压夹板(i)、囊槽(j)、第一压缩弹簧(k)、主夹板(m)。

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