[发明专利]一种集成电路芯片加工用夹具在审
申请号: | 202210292501.6 | 申请日: | 2022-03-23 |
公开(公告)号: | CN114864467A | 公开(公告)日: | 2022-08-05 |
发明(设计)人: | 赵红霞 | 申请(专利权)人: | 赵红霞 |
主分类号: | H01L21/683 | 分类号: | H01L21/683;H01L21/687 |
代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
地址: | 710000 陕*** | 国省代码: | 陕西;61 |
权利要求书: | 查看更多 | 说明书: | 查看更多 |
摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 集成电路 芯片 工用 夹具 | ||
1.一种集成电路芯片加工用夹具,其结构包括装配支杆(1)、夹具主体(2),所述夹具主体(2)底端四角均固定连接有装配支杆(1),其特征在于:
所述夹具主体(2)包括装配座(a)、螺杆移动槽(b)、控制旋板(c)、螺杆(d)、滑动限位槽(e)、滑动限位杆(f)、压力指示装置(g)、减振囊(h)、顶压夹板(i)、囊槽(j)、第一压缩弹簧(k)、负压稳定装置(l)、主夹板(m)、夹持槽(n),所述装配座(a)顶端设有夹持槽(n),所述夹持槽(n)左右两端均通过螺杆移动槽(b)贯穿装配座(a),所述控制旋板(c)镶嵌设于装配座(a)顶端左右两侧,所述螺杆(d)一端贯穿控制旋板(c)中部与控制旋板(c)螺纹连接,所述螺杆(d)贯穿控制旋板(c)端设于螺杆移动槽(b)内,所述螺杆(d)另一端与主夹板(m)一端固定连接,所述主夹板(m)底端固定连接有滑动限位杆(f),所述负压稳定装置(l)镶嵌设于装配座(a)中部,所述滑动限位槽(e)设于装配座(a)内,所述滑动限位槽(e)位于负压稳定装置(l)左右两方上侧,所述滑动限位杆(f)与滑动限位槽(e)活动扣接,所述主夹板(m)另一端通过减振囊(h)固定连接有顶压夹板(i),所述减振囊(h)内部设有囊槽(j),所述囊槽(j)内设有第一压缩弹簧(k),所述第一压缩弹簧(k)左右两端与囊槽(j)左右两端固定连接,所述压力指示装置(g)镶嵌设于主夹板(m)顶端,所述压力指示装置(g)与囊槽(j)相通。
2.根据权利要求1所述的一种集成电路芯片加工用夹具,其特征在于:所述压力指示装置(g)包括指示槽(g1)、指示条(g2)、指示板(g3)、密闭套(g4)、通槽(g5),所述指示条(g2)镶嵌设于主夹板(m)顶端,所述指示条(g2)内部设有指示槽(g1),所述指示板(g3)上包覆设有密闭套(g4),所述指示板(g3)通过密闭套(g4)与指示槽(g1)过盈配合,所述指示槽(g1)右端与通槽(g5)一端相通,所述通槽(g5)另一端与减振囊(h)相通。
3.根据权利要求1所述的一种集成电路芯片加工用夹具,其特征在于:所述负压稳定装置(l)包括装配螺母(l1)、调压内槽(l2)、活动球(l3)、联动杆(l4)、活塞板(l5)、密闭环(l6)、负压装配座(l7)、吸盘(l8)、吸盘槽(l9)、调压中板(l10)、第二压缩弹簧(l11)、解锁滑块(l12)、锁定卡板(l13)、通气内槽(l14)、调压螺环(l15)、调节旋帽(l16),所述负压装配座(l7)底端固定连接有调压螺环(l15),所述负压装配座(l7)镶嵌设于装配座(a)顶端中部,所述调压螺环(l15)底端贯穿装配座(a)底端,所述吸盘(l8)镶嵌设于负压装配座(l7)顶端,所述吸盘(l8)顶端设有吸盘槽(l9),所述吸盘(l8)中部设有调压中板(l10),所述调压内槽(l2)设于负压装配座(l7)内,所述调压中板(l10)底端与调压内槽(l2)顶端相通,所述活塞板(l5)上包覆设有密闭环(l6),所述活塞板(l5)设于调压内槽(l2)内,所述活塞板(l5)内部设有活动球(l3),所述活动球(l3)底端与联动杆(l4)顶端固定连接,所述联动杆(l4)底端贯穿活塞板(l5)、调节旋帽(l16),所述通气内槽(l14)顶端与调压内槽(l2)底端相通,所述通气内槽(l14)底端由上而下贯穿调压螺环(l15)中部,所述装配螺母(l1)锁接于调压螺环(l15)上,所述装配螺母(l1)顶端与装配座(a)底端相接,所述调节旋帽(l16)套接于调压螺环(l15)上,所述调节旋帽(l16)与调压螺环(l15)螺纹连接,所述解锁滑块(l12)右端通过第二压缩弹簧(l11)与调节旋帽(l16)底端右侧镶嵌扣接,所述解锁滑块(l12)左上方与锁定卡板(l13)固定连接,所述锁定卡板(l13)左端与联动杆(l4)扣接。
4.根据权利要求3所述的一种集成电路芯片加工用夹具,其特征在于:所述锁定卡板(l13)左上方为斜面。
5.根据权利要求1所述的一种集成电路芯片加工用夹具,其特征在于:所述指示条(g2)有透明的玻璃制成。
6.根据权利要求1所述的一种集成电路芯片加工用夹具,其特征在于:所述装配座(a)上设有成镜像装配的两个螺杆移动槽(b)、控制旋板(c)、螺杆(d)、滑动限位槽(e)、滑动限位杆(f)、压力指示装置(g)、减振囊(h)、顶压夹板(i)、囊槽(j)、第一压缩弹簧(k)、主夹板(m)。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息,商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于赵红霞,未经赵红霞许可,擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作,请联系【客服】
本文链接:http://www.vipzhuanli.com/pat/books/202210292501.6/1.html,转载请声明来源钻瓜专利网。
- 同类专利
- 专利分类
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造