[发明专利]一种集成电路芯片加工用夹具在审
申请号: | 202210292501.6 | 申请日: | 2022-03-23 |
公开(公告)号: | CN114864467A | 公开(公告)日: | 2022-08-05 |
发明(设计)人: | 赵红霞 | 申请(专利权)人: | 赵红霞 |
主分类号: | H01L21/683 | 分类号: | H01L21/683;H01L21/687 |
代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
地址: | 710000 陕*** | 国省代码: | 陕西;61 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 集成电路 芯片 工用 夹具 | ||
本发明公开了一种集成电路芯片加工用夹具,其结构包括装配支杆、夹具主体,本发明具有以下有益效果,通过设有的控制旋板和螺杆的螺纹连接来进行夹板的顶压位置控制,因为螺杆和旋板转动周期的转换,使设备一次性可调节的距离较小,并能够进行更精确的夹持力度调节,同时,设备设有的负压吸取设备可直接通过手动旋转调节旋帽进行负压吸取的压力调节,可以进行更好的力度控制,免于过压对芯片造成损伤,便于使用,通过设有减振囊,囊槽通过通槽连接有指示条,使设备在进行机械夹持时,顶压的压力会顶压通过压缩囊槽推动指示条内的指示板进行同步压力提示,便于更好的对夹持力度的判断,便于使用。
技术领域
本发明属于夹具技术领域,特别涉及一种集成电路芯片加工用夹具。
背景技术
机械制造过程中用来固定加工对象,使之占有正确的位置,以接受施工或检测的装置,又称卡具,从广义上说,在工艺过程中的任何工序,用来迅速、方便、安全地安装工件的装置,都可称为夹具,例如焊接夹具、检验夹具、装配夹具、机床夹具等,其中机床夹具最为常见,常简称为夹具,夹具种类按使用特点可分为:万能通用夹具,如机用虎钳、卡盘、吸盘、分度头和回转工作台等,有很大的通用性,能较好地适应加工工序和加工对象的变换,其结构已定型,尺寸、规格已系列化,其中在进行集成电路的芯片加工时,为了保证芯片放置的稳定,常常需要用到夹具对芯片进行稳定装配,随着科学技术的飞速发展,也得到了技术改进,但是现有技术新型在使用时,在进行机械夹持时,夹具在进行夹持时的调节无法进行较好的力度把控,容易出现夹持力度过大导致电路芯片损伤的情况,同时,在进行负压夹持时,需要电动控制负压的启用停止,在断电等情况下较为不便,也不便于压力的控制,且现有技术使用时,在进行机械夹持时,对于夹持的压力无法进行较好的指示,导致无法进行较好的压力判断,造成不便。
发明内容
(一)要解决的技术问题
为了克服现有技术不足,现提出一种集成电路芯片加工用夹具,以解决现有技术新型在使用时,在进行机械夹持时,夹具在进行夹持时的调节无法进行较好的力度把控,容易出现夹持力度过大导致电路芯片损伤的情况,同时,在进行负压夹持时,需要电动控制负压的启用停止,在断电等情况下较为不便,也不便于压力的控制,且现有技术使用时,在进行机械夹持时,对于夹持的压力无法进行较好的指示,导致无法进行较好的压力判断,造成不便的效果。
(二)技术方案
本发明通过如下技术方案实现:本发明提出了一种集成电路芯片加工用夹具,其结构包括装配支杆、夹具主体,所述夹具主体底端四角均固定连接有装配支杆;
所述夹具主体包括装配座、螺杆移动槽、控制旋板、螺杆、滑动限位槽、滑动限位杆、压力指示装置、减振囊、顶压夹板、囊槽、第一压缩弹簧、负压稳定装置、主夹板、夹持槽,所述装配座顶端设有夹持槽,所述夹持槽左右两端均通过螺杆移动槽贯穿装配座,所述控制旋板镶嵌设于装配座顶端左右两侧,所述螺杆一端贯穿控制旋板中部与控制旋板螺纹连接,所述螺杆贯穿控制旋板端设于螺杆移动槽内,所述螺杆另一端与主夹板一端固定连接,所述主夹板底端固定连接有滑动限位杆,所述负压稳定装置镶嵌设于装配座中部,所述滑动限位槽设于装配座内,所述滑动限位槽位于负压稳定装置左右两方上侧,所述滑动限位杆与滑动限位槽活动扣接,所述主夹板另一端通过减振囊固定连接有顶压夹板,所述减振囊内部设有囊槽,所述囊槽内设有第一压缩弹簧,所述第一压缩弹簧左右两端与囊槽左右两端固定连接,所述压力指示装置镶嵌设于主夹板顶端,所述压力指示装置与囊槽相通。
进一步的,所述压力指示装置包括指示槽、指示条、指示板、密闭套、通槽,所述指示条镶嵌设于主夹板顶端,所述指示条内部设有指示槽,所述指示板上包覆设有密闭套,所述指示板通过密闭套与指示槽过盈配合,所述指示槽右端与通槽一端相通,所述通槽另一端与减振囊相通。
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H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
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