[发明专利]磨削方法在审
| 申请号： | 202210292801.4 | 申请日： | 2022-03-24 |
| 公开（公告）号： | CN115194581A | 公开（公告）日： | 2022-10-18 |
| 发明（设计）人： | 铃木佳一 | 申请（专利权）人： | 株式会社迪思科 |
| 主分类号： | B24B7/22 | 分类号： | B24B7/22;B24B41/04;B24B41/06;B24B49/04;B24B47/20;B24B47/22 |
| 代理公司： | 北京三友知识产权代理有限公司 11127 | 代理人： | 乔婉;于靖帅 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 磨削 方法 | ||
1.一种磨削方法，一边使具有保持面的卡盘工作台和具有呈环状配置的多个磨具的磨削磨轮按照该多个磨具通过该卡盘工作台的旋转轴线的方式一起旋转，一边利用该磨削磨轮对该卡盘工作台的该保持面所保持的板状的工件进行磨削，其中，
该磨削方法包含如下的步骤：
第1磨削步骤，按照该磨具与该保持面之间的距离在其他位置比与该卡盘工作台的该旋转轴线重叠的位置大的方式将该卡盘工作台与该磨削磨轮的相对的倾斜调整成第1状态之后，使该保持面与该磨具相对地接近，由此使该磨具与该工件接触而对该工件进行磨削；
磨削停止步骤，在该第1磨削步骤之后，使该磨具从该工件离开而停止该工件的磨削；以及
第2磨削步骤，在该磨削停止步骤之后，按照该磨具在与该卡盘工作台的该旋转轴线重叠的位置不与该工件接触的方式将该卡盘工作台与该磨削磨轮的相对的倾斜调整成与该第1状态不同的第2状态之后，使该保持面与该磨具相对地接近，由此使该磨具与该工件接触而对该工件进行磨削，
在该第2磨削步骤中，按照与该第1磨削步骤相比使表面粗糙度减小的条件对该工件进行磨削。
2.根据权利要求1所述的磨削方法，其中，
在该第2磨削步骤中，与该第1磨削步骤相比使该卡盘工作台旋转得慢。
3.根据权利要求1或2所述的磨削方法，其中，
在该第2磨削步骤中，与该第1磨削步骤相比使该磨削磨轮旋转得快。
4.根据权利要求1或2所述的磨削方法，其中，
在该第2磨削步骤中，与该第1磨削步骤相比使该保持面与该磨具接近得慢。
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