[发明专利]微电子器件封装用固定装置及微电子器件封装方法在审
申请号: | 202210297632.3 | 申请日: | 2022-03-24 |
公开(公告)号: | CN114695244A | 公开(公告)日: | 2022-07-01 |
发明(设计)人: | 李晓倩;汪洋;孟维歌;王春红 | 申请(专利权)人: | 工业和信息化部电子第五研究所华东分所 |
主分类号: | H01L21/687 | 分类号: | H01L21/687 |
代理公司: | 北京品源专利代理有限公司 11332 | 代理人: | 汪莉萍 |
地址: | 215129 江*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 微电子 器件 封装 固定 装置 方法 | ||
1.一种微电子器件封装用固定装置,其特征在于,所述微电子器件封装用固定装置包括:
底板(100);
两个立柱(200),相对设置在所述底板(100)上;以及
固定组件(300),每个所述立柱(200)上设置一个所述固定组件(300),所述固定组件(300)包括:
限位板(320),与所述立柱(200)滑动连接,两个所述限位板(320)之间形成可调节大小的用于固定微电子器件的固定间隙(400);以及
夹持件(340),设置在所述限位板(320)上,所述夹持件(340)用于夹持所述微电子器件。
2.根据权利要求1所述的微电子器件封装用固定装置,其特征在于,所述固定组件(300)还包括:
横板(310),设置在所述立柱(200)上,所述限位板(320)滑动连接在所述横板(310)上,所述限位板(320)部分地伸出所述横板(310),以形成所述固定间隙(400);以及
锁紧件(330),设置在所述横板(310)上,所述锁紧件(330)可选择性地锁定所述限位板(320)在所述横板(310)上的位置。
3.根据权利要求1所述的微电子器件封装用固定装置,其特征在于,所述夹持件(340)包括:
弹性件(341),设置在所述限位板(320)的顶壁上;以及
夹持板(342),设置在所述弹性件(341)上,所述夹持板(342)与所述限位板(320)相对设置,所述夹持板(342)的底壁与所述限位板(320)的顶壁形成用于夹持微电子器件的夹持间隙(343)。
4.根据权利要求3所述的微电子器件封装用固定装置,其特征在于,所述夹持件(340)还包括:
限位杆(344),设置在所述限位板(320)上,所述限位杆(344)与所述夹持板(342)滑动连接;以及
限位片(345),设置在所述限位杆(344)远离所述限位板(320)的一端,所述限位片(345)的横截面积大于所述限位杆(344)的横截面积。
5.根据权利要求2所述的微电子器件封装用固定装置,其特征在于,所述锁紧件(330)包括:
锁紧杆(331),设置在所述横板(310)上,所述锁紧杆(331)部分地伸入所述横板(310)内,所述锁紧杆(331)伸入横板(310)内的一端可选择性地与所述限位板(320)的顶壁抵接。
6.根据权利要求2所述的微电子器件封装用固定装置,其特征在于,所述固定组件(300)还包括:
滑块(321),设置在所述限位板(320)上;
其中,所述横板(310)的内侧壁上开设有供所述滑块(321)滑移的滑槽(312)。
7.根据权利要求2至6中任一项所述的微电子器件封装用固定装置,其特征在于,所述立柱(200)上具有通孔(210),所述横板(310)穿过所述通孔(210),所述横板(310)与所述通孔(210)之间存在转动间隙;其中,所述固定组件(300)还包括:
压板(350),滑动连接在所述通孔(210)内,所述压板(350)可选择性地与所述横板(310)抵接;以及
转杆(360),设置在所述立柱(200)上,所述转杆(360)的一端可选择地伸入所述通孔(210)内并与所述压板(350)转动连接。
8.根据权利要求7所述的微电子器件封装用固定装置,其特征在于,所述压板(350)靠近横板(310)的一侧具有弧面;所述横板(310)的顶壁上具有与所述弧面贴合的弧形槽。
9.根据权利要求7所述的微电子器件封装用固定装置,其特征在于,所述固定组件(300)还包括:
拨杆(361),设置在所述转杆(360)远离所述压板(350)的一侧;和/或
拉杆(332),设置在所述锁紧件(330)远离所述限位板(320)的一侧。
10.一种微电子器件封装方法,其特征在于,所述微电子器件封装方法包括如下步骤:采用如权利要求1-9任一项所述的微电子器件封装用固定装置固定待封装的微电子器件:
根据微电子器件的尺寸,推动所述限位板相对于所述立柱滑动,以使得两个所述限位板彼此分离,增大所述固定间隙的尺寸;
将微电子器件放入所述固定间隙内,推动所述限位板相对于所述立柱滑动,以使得两个所述限位板彼此靠近,以缩小所述固定间隙;
所述固定间隙缩小后,再通过所述夹持件将微电子器件夹持固定在所述固定间隙内;
对固定好的微电子器件进行封装。
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