[发明专利]一种用于晶圆激光加工的涂胶喷涂工装

权利要求书

1.一种用于晶圆激光加工的涂胶喷涂工装，其特征在于，涂胶喷涂工装（100）包括：

升降台支撑板（6），所述升降台支撑板（6）中央设有安装腔体；

升降台座，所述升降台座包括升降台板（5）和升降悬架（14），所述升降台板（5）设有升降台支撑板上方，所述升降悬架（14）固定设于升降台板（5）底部，且升降悬架（14）置于所述安装腔体内；

旋转喷涂载台（1），所述旋转喷涂载台（1）包括载台本体（2），所述载台本体（2）底部中央设有驱动轴（17），所述驱动轴（17）转动设于升降台板（5）上，所述升降悬架（14）上固定设有动力输入机构，所述动力输入机构与驱动轴（17）传动连接；

若干组导向组件，所述导向组件包括导向套（12）以及导向套内滑动设置的支撑导柱（7），所述导向套（12）对应设于安装腔体周向的升降台支撑板上，所述支撑导柱（7）对应设于升降台板（5）底部；

至少两组升降驱动机构（9），所述升降驱动机构（9）对应设于升降台支撑板（6）两侧，且升降驱动机构（9）的动力端通过连接件（13）与升降台板（5）连接，所述升降驱动机构（9）驱动升降台座沿着导向组件升降运动；

至少两组第一缓冲组件（8），所述第一缓冲组件（8）对应设于升降悬架（14）两侧；

至少两组第二缓冲组件（19），所述第二缓冲组件（19）对应设于升降台支撑板两侧，且第二缓冲组件设于升降台板（5）下侧。

2.如权利要求1所述的一种用于晶圆激光加工的涂胶喷涂工装，其特征在于：所述载台本体（2）外圆周固定连接有安装环板（3），所述安装环板（3）外圆周向设有若干组卡爪限位组件（4）。

3.如权利要求1所述的一种用于晶圆激光加工的涂胶喷涂工装，其特征在于：所述动力输入机构包括设于升降悬架底端的减速机构（15），与所述减速机构（15）配合设有驱动电机（16）；

所述减速机构（15）输出轴通过联轴器（18）与驱动轴（17）固定连接。

4.如权利要求1所述的一种用于晶圆激光加工的涂胶喷涂工装，其特征在于：所述第一缓冲组件（8）包括限位安装板，所述限位安装板上设有若干组缓冲柱。

5.如权利要求1所述的一种用于晶圆激光加工的涂胶喷涂工装，其特征在于：所述第二缓冲组件（19）包括升降板缓冲垫块（11），所述升降板缓冲垫块（11）上设有若干组缓冲柱；所述升降台板（5）上开设有通孔，所述缓冲柱顶端贯穿所述通孔。

6.如权利要求5所述的一种用于晶圆激光加工的涂胶喷涂工装，其特征在于：所述升降台支撑板（6）上与第二缓冲组件（19）对应设有升降板限位块（10）。

7.如权利要求1所述的一种用于晶圆激光加工的涂胶喷涂工装，其特征在于：所述升降驱动机构（9）为驱动气缸、液压缸或驱动电缸。

8.如权利要求1所述的一种用于晶圆激光加工的涂胶喷涂工装，其特征在于：所述导向套（12）为直线轴承。

9.如权利要求1所述的一种用于晶圆激光加工的涂胶喷涂工装，其特征在于：所述连接件（13）为浮动接头。

10.如权利要求1-9任一所述的一种用于晶圆激光加工的涂胶喷涂工装，其特征在于：所述载台本体（2）为真空载台，且载台本体（2）板面上设有若干真空抽气孔。