[发明专利]一种用于湿法加工TGV的蚀刻液配置系统及方法

权利要求书

1.一种用于湿法加工TGV的蚀刻液配置系统，其特征在于：包括原料承装罐、第一四通换向阀、蚀刻液承装罐、液位计、废液承装罐和调节组件，所述原料承装罐至少设有三个，且其中一所述原料承装罐用于承装纯水，所述液位计安装于所述蚀刻液承装罐，且所述液位计用于监测所述蚀刻液承装罐的液体数据；

所述原料承装罐设有第一出液口和第二出液口，所述第一四通换向阀设有第一接口、第二接口、第三接口和第四接口，所述第一出液口与所述第一接口通过管路相连，所述第二出液口与所述第二接口通过管路相连，所述第三接口与所述蚀刻液承装罐的入口相连，所述第四接口与所述废液承装罐的入口相连；

所述调节组件设置于所述第一出液口与所述第一接口之间，以及所述第二出液口与所述第二接口之间；所述调节组件包括第一阀体和流量计，所述第一阀体用于打开和关闭所述原料承装罐，所述流量计用于监测管路的流量。

2.根据权利要求1所述的一种用于湿法加工TGV的蚀刻液配置系统，其特征在于：所述调节组件还包括第二四通换向阀，所述第二四通换向阀设置于所述第一阀体和所述流量计之间；

所述第二四通换向阀设有接口一、接口二、接口三和接口四，与所述第一出液口相连的第一阀体的出口与所述接口一通过管路相连，与所述第二出液口相连的第一阀体的出口与所述接口二通过管路相连，与所述第一接口相连的流量计的入口与所述接口三通过管路相连，与所述第二接口相连的流量计的入口与所述接口四通过管路相连。

3.根据权利要求2所述的一种用于湿法加工TGV的蚀刻液配置系统，其特征在于：还包括控制器，第一四通换向阀和所述调节组件分别电连接于所述控制器。

4.根据权利要求3所述的一种用于湿法加工TGV的蚀刻液配置系统，其特征在于：所述第一阀体为电子调速阀，所述流量计为电子累计流量计。

5.根据权利要求3所述的一种用于湿法加工TGV的蚀刻液配置系统，其特征在于：所述原料承装罐设有四个，且所述原料承装罐分别用于承装HF溶液、表面活性剂、缓冲液和纯水。

6.一种用于湿法加工TGV的蚀刻液配置方法，其特征在于，使用权利要求3～5任意一项所述的一种用于湿法加工TGV的蚀刻液配置系统，包括以下步骤：

步骤S1、将蚀刻液原料和纯水分别灌装至各原料承装罐；

步骤S2、控制器根据预设配置数据控制调节组件和第一四通换向阀的运行，开始配置蚀刻液；

步骤S3、蚀刻液配置完毕后，控制器控制调节组件和第一四通换向阀的运行，对蚀刻液配置系统进行清洗和干燥。

7.根据权利要求6所述的一种用于湿法加工TGV的蚀刻液配置方法，其特征在于，步骤S2中，控制器的控制步骤为：

打开各原料承装罐中分别与第一出液口和第二出液口相连的第一阀体；

接通第二四通换向阀中的接口一和接口二，以及接口二和接口四，同时接通第一四通换向阀中的第一接口和第四接口，以及第二接口和第四接口；

当流量计的累计流量与预设配置数据相等时，断开第二四通换向阀中的接口一和接口二，以及接口二和接口四；

当液位计的液位数据与预设配置数据相等时，断开第一四通换向阀中的第一接口和第四接口，以及第二接口和第四接口。

8.根据权利要求6所述的一种用于湿法加工TGV的蚀刻液配置方法，其特征在于，步骤S3，控制器的控制步骤为：

打开各原料承装罐中分别与第一出液口和第二出液口相连的第一阀体；

接通第二四通换向阀中的接口一和接口二，以及接口二和接口四；

接通第一四通换向阀中的第一接口和第四接口，以及第二接口和第四接口。