[发明专利]固晶输送机构及固晶机在审
申请号: | 202210318729.8 | 申请日: | 2022-03-29 |
公开(公告)号: | CN114743910A | 公开(公告)日: | 2022-07-12 |
发明(设计)人: | 倪世旭;李猛 | 申请(专利权)人: | 深圳新益昌科技股份有限公司 |
主分类号: | H01L21/677 | 分类号: | H01L21/677;H01L21/67 |
代理公司: | 深圳中一联合知识产权代理有限公司 44414 | 代理人: | 谢蓓 |
地址: | 518000 广东省深圳*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 输送 机构 固晶机 | ||
1.一种固晶输送机构,包括机台(1),其特征在于,还包括连接于所述机台(1)的料仓升降组件(2)、两组上料机械手(3)、两组晶片平台(4)、两组支架平台(5)、固晶接驳平台(7),其中:
所述料仓升降组件(2)用于提供晶片;
两组所述上料机械手(3)设于所述料仓升降组件(2)的两侧,并用于从所述料仓升降组件(2)上抓取所述晶片;
两组所述晶片平台(4)分别设于两组所述上料机械手(3)的一侧,并用于承载相邻的所述上料机械手(3)抓取的所述晶片;
两组所述支架平台(5)分别位于两组所述晶片平台(4)的一侧,所述晶片平台(4)将所述晶片输送至所述支架平台(5)的一侧;
所述固晶接驳平台(7)设于两个所述支架平台(5)之间,其中一个所述支架平台(5)用于提供支架,并将所述支架输送至所述固晶接驳平台(7);所述固晶接驳平台(7)用于将所述支架输送至另一所述支架平台(5)。
2.根据权利要求1所述的固晶输送机构,其特征在于,所述料仓升降组件(2)包括设于所述机台(1)上的安装座(21)以及连接于所述安装座(21)的上料托盘(22)、摇盘提篮料仓(23),其中:
所述上料托盘(22)包括底板升降组件(221)以及连接于所述底板升降组件(221)的料仓升降底板(222);所述底板升降组件(221)用于带动所述料仓升降底板(222)升降;
所述摇盘提篮料仓(23)连接于所述料仓升降底板(222),且包括多个芯片摇盘(231)和定位件(232);所述芯片摇盘(231)内容纳有所述晶片,且多个所述芯片摇盘(231)沿纵向层叠且间隔设置;所述定位件(232)用于使所述芯片摇盘(231)位于预设位置。
3.根据权利要求2所述的固晶输送机构,其特征在于,所述上料托盘(22)还包括感应开关组件(223)以及与所述感应开关组件(223)电性连接的光纤放大器(224),其中:
所述感应开关组件(223)包括多个感应开关,每一所述感应开关分别设于每一所述芯片摇盘(231)的一侧。
4.根据权利要求2所述的固晶输送机构,其特征在于,所述摇盘提篮料仓(23)还包括承载框架(234)以及多个连接于所述承载框架(234)的滑动垫条(233),多个所述芯片摇盘(231)均纵向层叠且间隔位于所述承载框架(234)内,每一所述滑动垫条(233)分别设于每一所述芯片摇盘(231)下方,且所述芯片摇盘(231)抵持于相应的所述滑动垫条(233)。
5.根据权利要求1-4中任一项所述的固晶输送机构,其特征在于,所述上料机械手(3)包括机械手底座(31)以及设于所述机械手底座(31)的上料机构(32),其中:
所述上料机构(32)包括搬运横臂(321)以及设于所述搬运横臂(321)的第一气缸(322)、第二气缸(323)、夹爪上板(325)、夹爪下板(326);所述夹爪上板(325)与所述第一气缸(322)相连,所述夹爪下板(326)与所述第二气缸(323)相连,所述第一气缸(322)、所述第二气缸(323)能够带动所述夹爪上板(325)、所述夹爪下板(326)相互靠近或相互远离。
6.根据权利要求5所述的固晶输送机构,其特征在于,所述机械手底座(31)还包括连接于所述机械手底座(31)的搬运电机(311)、丝杆(312)与丝杆螺母座(313);
所述丝杆(312)的一端与所述搬运电机(311)相连,所述丝杆(312)的另一端穿过所述丝杆螺母座(313)并与所述丝杆螺母座(313)螺纹配合;所述丝杆螺母座(313)沿所述丝杆(312)的轴向滑动连接于所述机械手底座(31);所述搬运横臂(321)连接于所述丝杆螺母座(313)。
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