[发明专利]固晶输送机构及固晶机在审
申请号: | 202210318729.8 | 申请日: | 2022-03-29 |
公开(公告)号: | CN114743910A | 公开(公告)日: | 2022-07-12 |
发明(设计)人: | 倪世旭;李猛 | 申请(专利权)人: | 深圳新益昌科技股份有限公司 |
主分类号: | H01L21/677 | 分类号: | H01L21/677;H01L21/67 |
代理公司: | 深圳中一联合知识产权代理有限公司 44414 | 代理人: | 谢蓓 |
地址: | 518000 广东省深圳*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 输送 机构 固晶机 | ||
本申请适用于固晶技术领域,提出一种固晶机,包括机台,还包括设于机台的料仓升降组件、两组上料机械手、两组晶片平台、两组支架平台、固晶接驳平台,其中:料仓升降组件用于提供晶片;两组上料机械手设于料仓升降组件的两侧,并用于从料仓升降组件上取料;两组晶片平台分别设于两组上料机械手一侧;两组支架平台分别位于两组晶片平台的一侧,用于输送支架,晶片平台将晶片从相应的上料机械手上取下并固定于相邻的支架;固晶接驳平台用于将支架输送至相邻的另一支架平台;本申请结构简洁,设置料仓升降组件和两组上料机械手,提高上料、取料效率的同时,还降低了机台的抖动,提高了生产效率与机台的使用寿命,实用性强。
技术领域
本申请属于固晶技术领域,尤其涉及一种固晶输送机构及固晶机。
背景技术
目前,在固晶过程中,通常是由单一固晶摆臂机构驱动吸嘴往复经过供晶位与固晶位,并结合支架移载机构对支架位置的调节,从而实现对支架不同位置的固晶。
由于单一固晶摆臂机构每次仅能对支架的一个位置进行固晶作业,设备人工上料时间间隔长,不能更好的提高用人效率,从而导致固晶效率低,设备机构一对一模式不能更好的提高机构的使用率;且单设备单摆臂模式容易导致机台的不稳定而产生抖动。
针对上述技术问题,本申请提供了一种固晶输送机构及固晶机,至少解决了在先技术中的固晶机人工上料时间间隔长导致工作效率低、单摆臂模式容易导致机台不稳定的问题。
本申请提供的固晶输送机构包括机台,还包括连接于所述机台的料仓升降组件、两组上料机械手、两组晶片平台、两组支架平台、固晶接驳平台,其中:
所述料仓升降组件用于提供晶片;
两组所述上料机械手设于所述料仓升降组件的两侧,并用于从所述料仓升降组件上取料;
两组所述晶片平台分别设于两组所述上料机械手的一侧,并用于承载相邻的所述上料机械手抓取的所述晶片;
两组所述支架平台分别位于两组晶片平台的一侧,所述晶片平台将所述晶片输送至所述支架平台的一侧;
两个所述支架平台中的一个用于将输送支架,并将所述支架输送至所述固晶接驳平台,所述固晶接驳平台用于将所述支架输送至相邻的另一所述支架平台。
在一实施例中,所述料仓升降组件包括安装座以及连接于所述安装座的上料托盘、摇盘提篮料仓,其中:
所述上料托盘包括底板升降组件以及连接于所述底板升降组件的料仓升降底板;所述底板升降组件用于带动所述料仓升降底板升降;
所述摇盘提篮料仓连接于所述料仓升降底板,且包括多个芯片摇盘和定位件;所述芯片摇盘内容纳有所述晶片,且多个所述芯片摇盘沿纵向层叠且间隔设置;所述定位件用于使所述芯片摇盘位于预设位置。
在一实施例中,所述上料托盘还包括感应开关组件以及与所述感应开关组件电性连接的光纤放大器,其中:
所述感应开关组件包括多个感应开关,每一所述感应开关分别设于每一所述芯片摇盘的一侧。
在一实施例中,所述摇盘提篮料仓还包括承载框架以及多个连接于所述承载框架的滑动垫条,多个所述芯片摇盘均纵向层叠且间隔位于所述承载框架内,每一所述滑动垫条分别设于每一所述芯片摇盘下方,且所述芯片摇盘抵持于相应的所述滑动垫条。
在一实施例中,所述上料机械手包括机械手底座以及连接于所述机械手底座的上料机构,其中:
所述上料机构包括搬运横臂以及设于所述搬运横臂的第一气缸、第二气缸、夹爪上板、夹爪下板;所述夹爪上板与所述第一气缸相连,所述夹爪下板与所述第二气缸相连,所述第一气缸、所述第二气缸能够带动所述夹爪上板、所述夹爪下板相互靠近或相互远离。
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H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
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