[发明专利]氧化铝抛光液及其制备方法在审
| 申请号： | 202210324896.3 | 申请日： | 2022-03-29 |
| 公开（公告）号： | CN114456718A | 公开（公告）日： | 2022-05-10 |
| 发明（设计）人： | 邹兴;蔡文必;林武庆 | 申请（专利权）人： | 湖南三安半导体有限责任公司 |
| 主分类号： | C09G1/02 | 分类号： | C09G1/02 |
| 代理公司： | 北京超凡宏宇专利代理事务所(特殊普通合伙) 11463 | 代理人： | 姚大雷 |
| 地址： | 410000 湖南省长沙市高新开发*** | 国省代码： | 湖南;43 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 氧化铝 抛光 及其 制备 方法 | ||
1.一种氧化铝抛光液，其特征在于，包括氧化铝微粉、α萘酚聚氧乙烯醚、多元醇、羧酸钠盐、消泡剂、pH调节剂和溶剂，且按照重量份计，所述氧化铝抛光液包括：
10-30份所述氧化铝微粉、0.02-2份所述α萘酚聚氧乙烯醚、40-85份所述多元醇、0.01-2份所述羧酸钠盐、0.01-2份所述消泡剂和1-2份所述pH调节剂；
其中，所述pH调节剂包括有机碱和无机碱的复配混合物；
所述溶剂为水。
2.根据权利要求1所述的氧化铝抛光液，其特征在于，所述有机碱包括四甲基氢氧化铵、三乙醇胺和单乙醇胺的混合溶液，所述无机碱包括浓度为1mol/L的氢氧化钾溶液；
优选地，所述四甲基氢氧化铵、所述三乙醇胺和所述单乙醇胺的质量比为1:2:3，其中，所述四甲基氢氧化铵的质量分数为10％，所述三乙醇胺的质量分数为97％，所述单乙醇胺的质量分数为99.8％；
优选地，所述混合溶液和所述氢氧化钾溶液的质量比为1:3。
3.根据权利要求1所述的氧化铝抛光液，其特征在于，所述氧化铝微粉包括α相4N级氧化铝微粉。
4.根据权利要求1-3任一项所述的氧化铝抛光液，其特征在于，所述氧化铝微粉的粒径为0.1-0.3μm。
5.根据权利要求1-3任一项所述的氧化铝抛光液，其特征在于，所述多元醇包括乙二醇、丙二醇和甘油中的至少一种。
6.根据权利要求1-3任一项所述的氧化铝抛光液，其特征在于，所述消泡剂包括非硅型消泡剂、聚醚型消泡剂、有机硅型消泡剂和聚醚改性有机硅型消泡剂中的至少一种。
7.根据权利要求1-3任一项所述的氧化铝抛光液，其特征在于，所述羧酸钠盐包括脱氢乙酸钠、苯甲酸钠和双乙酸钠中的至少一者。
8.根据权利要求1-3任一项所述的氧化铝抛光液，其特征在于，所述氧化铝抛光液的pH值为12-13。
9.一种权利要求1-7任一项所述的氧化铝抛光液的制备方法，其特征在于，包括：向用所述多元醇与所述水混合配置的溶液中添加所述羧酸钠盐；
添加所述氧化铝微粉；
添加所述α萘酚聚氧乙烯醚和所述消泡剂；
用所述pH调节剂调节pH值为碱性。
10.根据权利要求9所述的氧化铝抛光液的制备方法，其特征在于，所述用所述pH调节剂调节pH值的步骤，包括：滴加所述pH调节剂，直到溶液的pH值为12-13。
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