[发明专利]清洗装置

权利要求书

1.一种清洗装置，用于清洗晶圆传输设备，所述晶圆传输设备包括晶圆支撑臂，其特征在于，所述清洗装置包括多个第一清洗块、多个第二清洗块、第一驱动件、第二驱动件、第一连接杆和第二连接杆，多个所述第一清洗块和多个所述第二清洗块一一对应，所述第一清洗块和所述第二清洗块中的至少一者开设有介质入口，所述第一清洗块和所述第二清洗块均设有多个介质出口；

所述第一驱动件通过所述第一连接杆与多个所述第一清洗块连接；所述第二驱动件通过所述第二连接杆与多个所述第二清洗块连接；

所述第一驱动件用于驱动多个所述第一清洗块沿第一方向和第二方向中的一者移动，以及所述第二驱动件用于驱动多个所述第二清洗块沿所述第一方向和所述第二方向中的另一者移动，以使多个所述第一清洗块和多个所述第二清洗块可相对运动以对接形成多个清洗空间或分离以形成用于供所述晶圆支撑臂通过的进出口；所述清洗空间用于容纳所述晶圆支撑臂，且所述第一清洗块和所述第二清洗块形成的结构用于环绕所述晶圆支撑臂，所述多个介质出口沿所述清洗空间的内壁设置，以用于环绕所述晶圆支撑臂；所述第一方向与所述第二方向互为反向。

2.根据权利要求1所述的清洗装置，其特征在于，多个所述第一清洗块和多个所述第二清洗块均沿第一方向排列，多个所述清洗空间沿与所述清洗空间的贯通方向相垂直的方向间隔分布。

3.根据权利要求2所述的清洗装置，其特征在于，所述清洗装置还包括导向连接件，所述导向连接件包括支撑底板和多个导向块，所述多个导向块均连接于所述支撑底板，且间隔分布，相邻的两个所述导向块形成导向间隙，所述导向间隙的延伸方向与所述第一方向或所述第二方向平行；

所述第一驱动件和所述第二驱动件均安装于所述支撑底板上，所述第一连接杆、所述第二连接杆、所述第一清洗块和所述第二清洗块均可移动地设于所述支撑底板，且所述第一连接杆的部分和所述第二连接杆的部分设在相对应的所述导向间隙内，且与相对应的所述导向间隙导向配合。

4.根据权利要求3所述的清洗装置，其特征在于，所述导向连接件还包括固定螺栓和轴套，所述固定螺栓贯穿所述多个导向块，所述轴套套设在所述固定螺栓的位于所述导向间隙中的部位上，所述第一连接杆和所述第二连接杆均开设有条形孔，所述条形孔的延伸方向与所述导向间隙的延伸方向一致，所述第一连接杆和所述第二连接杆分别通过各自的所述条形孔套设于相应的所述轴套。

5.根据权利要求3或4所述的清洗装置，其特征在于，所述清洗装置还包括第二驱动机构，所述第二驱动机构与所述支撑底板相连，在所述第一清洗块和所述第二清洗块对接形成所述清洗空间的情况下，所述第二驱动机构用于通过驱动所述支撑底板，来驱动所述第一清洗块和所述第二清洗块沿所述清洗空间的贯通方向移动。

6.根据权利要求5所述的清洗装置，其特征在于，所述第二驱动机构包括底座、滑轨、滑块和第三驱动件，所述第三驱动件和所述滑轨均设于所述底座上，所述滑块与所述滑轨在所述贯通方向滑动配合，所述支撑底板与所述滑块相连，所述第三驱动件用于通过驱动所述滑块，来驱动所述导向连接件移动。

7.根据权利要求1所述的清洗装置，其特征在于，所述第一清洗块和所述第二清洗块均设有多个隔离凸起，在所述第一清洗块和所述第二清洗块对接形成所述清洗空间的情况下，多个所述隔离凸起将所述清洗空间分隔成多个间隔的子清洗空间，多个所述子清洗空间用于一一对应地容纳所述晶圆支撑臂的支撑子臂，每个所述子清洗空间的内壁均开设有多个所述介质出口，每个所述子清洗空间的内壁上的多个所述介质出口用于环绕所述支撑子臂，每个所述子清洗空间的贯通方向与所述清洗空间的贯通方向一致。

8.根据权利要求1所述的清洗装置，其特征在于，所述第一清洗块和所述第二清洗块的内部开设有介质通道，所述介质入口通过所述介质通道与所述多个介质出口连通。