[发明专利]一种酸性蚀刻液废液处理系统和方法

权利要求书

1.一种酸性蚀刻液废液处理方法，其特征在于，包括下列步骤：

将蚀刻液废液电解形成铜和氯气，回收所形成的铜，然后将氯气再次通入电解后的电解液内溶解，最后向电解液内加入药剂形成蚀刻液原液。

2.根据权利要求1所述的酸性蚀刻液废液处理方法，其特征在于，在电解前将蚀刻液废液降温。

3.根据权利要求1所述的酸性蚀刻液废液处理方法，其特征在于，对未溶解于电解液的氯气进行吸收处理；

优选地，在阳极收集氯气并在阴极收集铜。

4.一种酸性蚀刻液废液处理系统，实现根据权利要求1-3任一项所述的酸性蚀刻液废液处理方法，其特征在于，包括：电解槽(10)和氯气吸收缸(300)；

电解槽(10)内设有电极组件，电解槽(10)底部设有废液进口且顶部设有氯气出口，电解槽(10)侧壁设有电解液出口；

氯气吸收缸(300)内设有储液槽和位于储液槽上方的吸收室(303)，所述储液槽侧壁设有电解液入口、药剂添加口、原液回收口和氯气进口，所述吸收室(303)内设有用于放置吸收料的横隔板(310)，横隔板(310)上设有供氯气通过的通孔，所述原液回收口位于所述氯气进口的上方；

所述氯气出口与所述氯气进口连通，所述电解液出口与所述电解液入口连通。

5.根据权利要求4所述的酸性蚀刻液废液处理系统，其特征在于，还包括冷却缸(500)，冷却缸(500)侧壁设有高温入口和低温出口；

优选地，冷却缸(500)内设有冷却空间，所述冷却空间内设有竖直设置的竖隔板(510)，竖隔板(510)将所述冷却空间分隔为进液腔和冷却腔(301)，竖隔板(510)上设有连通所述进液腔和冷却腔(301)的连通口；所述冷却腔内设有第一过液板(521)和第一冷凝管(531)，第一冷凝管(531)位于第一过液板(521)远离竖隔板(510)一侧，第一过液板(521)上设有与第一冷凝管(531)对应布置的第一过液区，所述第一过液区上设有第一过液孔。

6.根据权利要求4所述的酸性蚀刻液废液处理系统，其特征在于，电极组件包括阳极板(1)、阴极板(8)和安装框(2)，安装框(2)内缘设有多个极板夹，阳极板(1)通过极板夹安装在安装框(2)内，安装框(2)内缘设有沿阳极板(1)边缘延伸的导气槽(21)，所述导气槽(21)侧壁设有排气孔，阴极板(8)与阳极板(1)相对间隔布置，排气孔通过管路与氯气出口连通。

7.根据权利要求6所述的酸性蚀刻液废液处理系统，其特征在于，安装框(2)上还设有前挡板(3)和后挡板(4)，前挡板(3)和后挡板(4)分别位于阳极板(1)两侧且上端分别与安装框(2)连接，前挡板(3)和后挡板(4)与安装框(2)共同形成围绕阳极板(1)上端的集气空间，排气孔位于所述集气空间侧壁。

8.根据权利要求4所述的酸性蚀刻液废液处理系统，其特征在于，所述储液槽内具有冷却腔(301)和进气腔(302)，所述进气腔(302)位于所述吸收室(303)下方，所述冷却腔(301)位于所述进气腔(302)一侧且与所述进气腔(302)连通，所述冷却腔(301)内设有回收冷凝管(320)；

所述电解液入口位于所述冷却腔(301)侧壁，所述药剂添加口、所述氯气进口和所述原液回收口位于所述进气腔(302)侧壁。

9.根据权利要求8所述的酸性蚀刻液废液处理系统，其特征在于，所述冷却腔(301)内设有从底部向上伸出的第一挡板(330)，第一挡板(330)将所述冷却腔(301)分隔为第一腔室和第二腔室且在第一挡板(330)上方形成所述第一腔室和所述第二腔室的连通开口，回收冷凝管(320)位于所述第一腔室内，所述电解液入口位于所述第一腔室侧壁，所述第二腔室与所述进气腔(302)之间通过连通口连通。

10.根据权利要求4、8或9所述的酸性蚀刻液废液处理系统，其特征在于，还包括氯气吸收装置，氯气吸收缸(300)上设有尾气出口，氯气吸收装置用于吸收所述尾气出口排出的氯气。