[发明专利]可竖移止晃的提拉机构及其使用方法有效
申请号: | 202210342263.5 | 申请日: | 2022-03-31 |
公开(公告)号: | CN114686979B | 公开(公告)日: | 2023-03-28 |
发明(设计)人: | 陈俊宏 | 申请(专利权)人: | 徐州鑫晶半导体科技有限公司 |
主分类号: | C30B27/02 | 分类号: | C30B27/02 |
代理公司: | 北京清亦华知识产权代理事务所(普通合伙) 11201 | 代理人: | 徐章伟 |
地址: | 221004 江苏*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 可竖移止晃 机构 及其 使用方法 | ||
1.一种可竖移止晃的提拉机构,其特征在于,包括:
籽晶夹(10),所述籽晶夹(10)用于固定籽晶(200),所述籽晶夹(10)的至少部分外周面为回转形的配合面(10S);
软轴(20),所述软轴(20)下端连接所述籽晶夹(10),所述软轴(20)构造成能够牵引所述籽晶夹(10)旋转和升降;
限位件(31),所述限位件(31)为一个且环绕所述籽晶夹(10)设置,或者所述限位件(31)为多个且环绕所述籽晶夹(10)分布,所述限位件(31)构造成能够绕所述软轴(20)的旋转轴线(L1)旋转,且所述限位件(31)在第一位置和第二位置之间可竖向移动,所述限位件(31)的朝向所述软轴(20)的旋转轴线(L1)的至少部分表面为限位面(31S);
在所述第一位置时所述限位件(31)的所述限位面(31S)位于所述配合面(10S)的上方,在所述第二位置时所述限位面(31S)位于所述配合面(10S)的高度范围内;
切换组件(60),所述切换组件(60)设置在所述限位件(31)上,当所述限位件(31)位于所述第二位置时所述切换组件(60)与所述籽晶夹(10)相连,以使所述限位件(31)与所述籽晶夹(10)同步运动;
所述籽晶夹(10)包括:
下夹体(11),所述下夹体(11)用于固定所述籽晶(200);
上夹体(12),所述上夹体(12)可分离地连接在所述下夹体(11)上,所述上夹体(12)与所述软轴(20)相连;
离合结构(13),所述离合结构(13)设置在所述上夹体(12)和所述下夹体(11)之间,所述离合结构(13)在分离状态和结合状态之间可切换,在分离状态时所述下夹体(11)和所述上夹体(12)之间可分离,在结合状态时所述离合结构(13)将所述下夹体(11)和所述上夹体(12)结合为一体;
所述限位件(31)在所述第二位置且所述切换组件(60)连接所述籽晶夹(10)时,所述离合结构(13)由所述结合状态切换至所述分离状态。
2.根据权利要求1所述的可竖移止晃的提拉机构,其特征在于,所述限位件(31)为限位管,所述限位管的内周面为回转形面,所述回转形面的至少一部分构成所述限位面(31S)。
3.根据权利要求1所述的可竖移止晃的提拉机构,其特征在于,还包括:硬轴(40),所述硬轴(40)设置在所述籽晶夹(10)的水平一侧,所述限位件(31)安装在所述硬轴(40)上;所述硬轴(40)构造成能够绕所述软轴(20)的旋转轴线(L1)旋转,所述限位件(31)可升降地安装在所述硬轴(40)上。
4.根据权利要求1所述的可竖移止晃的提拉机构,其特征在于,还包括:硬轴(40),所述硬轴(40)套在所述籽晶夹(10)的外侧,所述限位件(31)安装在所述硬轴(40)上;所述硬轴(40)构造成能够绕所述软轴(20)的旋转轴线(L1)旋转,所述限位件(31)可升降地安装在所述硬轴(40)上。
5.根据权利要求1所述的可竖移止晃的提拉机构,其特征在于,所述离合结构(13)包括:
结合件(131),所述结合件(131)可活动地设在所述上夹体(12)上;
结合槽(132),所述结合槽(132)形成在所述下夹体(11)上;
所述离合结构(13)处于所述结合状态时,所述结合件(131)插入配合在所述结合槽(132)的一端;所述离合结构(13)处于所述分离状态时,所述结合件(131)完全退出所述结合槽(132);
所述切换组件(60)能够从所述结合槽(132)的另一端伸至所述结合槽(132)内以与所述下夹体(11)结合,且将所述结合件(131)推出所述结合槽(132)。
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