[发明专利]可竖移止晃的提拉机构及其使用方法

说明书

本发明公开了一种可竖移止晃的提拉结构及其使用方法，提拉结构包括：籽晶夹，籽晶夹用于固定籽晶，籽晶夹的至少部分外周面为回转形的配合面；软轴，软轴下端连接籽晶夹，软轴构造成能够牵引籽晶夹旋转和升降；限位件，限位件为一个且环绕籽晶夹设置，或者限位件为多个且环绕籽晶夹分布，限位件构造成能够绕软轴的旋转轴线旋转，且限位件在第一位置和第二位置之间可竖向移动，限位件的朝向软轴的旋转轴线的至少部分表面为限位面；在第一位置时限位件的限位面位于配合面的上方，在第二位置时限位面位于配合面的高度范围内。本发明的提拉机构，能够快速稳定籽晶夹的晃动，减少对晶棒生长的影响。

技术领域

本发明涉及单晶生长技术领域，具体涉及一种可竖移止晃的提拉机构及其使用方法。

背景技术

在直拉单晶制造法(CZ法)的单晶生长中，利用提拉机构和籽晶夹将籽晶浸渍于坩埚内所积存的原料熔汤中，并利用提拉机构将所浸渍的籽晶缓慢提拉，通过这种方式可以于籽晶的下方生长出单晶晶体。

相关技术中，提拉机构为软轴(如钼丝绳)，利用软轴的牵拉，可以实现籽晶夹的旋转和升降，以带动籽晶进行旋转和升降。但是，在旋转或升降过程中，容易出现籽晶的晃动，而且无法快速稳定，影响单晶的生长。

发明内容

本发明旨在至少解决现有技术中存在的技术问题之一。为此，本发明提出一种可竖移止晃的提拉结构，所述提拉机构在旋转和升降籽晶夹的过程中，能够快速稳定籽晶夹的晃动，减少对晶棒生长的影响。

本发明还旨在提出一种可竖移止晃的提拉机构的使用方法。

根据本发明实施例的可竖移止晃的提拉结构，包括：籽晶夹，所述籽晶夹用于固定籽晶，以将所述籽晶吊在熔汤中生成晶棒，所述籽晶夹的至少部分外周面为回转形的配合面；软轴，所述软轴下端连接所述籽晶夹，所述软轴构造成能够牵引所述籽晶夹旋转和升降；限位件，所述限位件为一个且环绕所述籽晶夹设置，或者所述限位件为多个且环绕所述籽晶夹分布，所述限位件构造成能够绕所述软轴的旋转轴线旋转，且所述限位件在第一位置和第二位置之间可竖向移动，所述限位件的朝向所述软轴的旋转轴线的至少部分表面为限位面；在所述第一位置时所述限位件的所述限位面位于所述配合面的上方，在所述第二位置时所述限位面位于所述配合面的高度范围内。

根据本发明实施例的可竖移止晃的提拉结构，当籽晶夹未出现晃动或者晃动幅度较小而不影响结晶生长时，限位件位于第一位置，限位面位于配合面的上方，此时限位件不影响籽晶夹的旋转与升降。当籽晶夹出现一定幅度的晃动时，限位件移动到第二位置，此时限位面位于配合面的高度范围内，限位件能够与籽晶夹围绕软轴同步旋转和升降，使限位面和配合面在籽晶夹的周向上不发生相对的移动，从而通过限位面与配合面的配合，对籽晶夹进行径向上的限位，可实现对籽晶夹晃动的快速稳定，减少对晶棒生长过程的影响。

在一些实施例中，所述限位件为限位管，所述限位管的内周面为回转形面，所述回转形面的至少一部分构成所述限位面。

在一些实施例中，所述提拉机构还包括：硬轴，所述硬轴设置在所述籽晶夹的水平一侧或者套在所述籽晶夹的外侧，所述限位件安装在所述硬轴上；所述硬轴构造成能够绕所述软轴的旋转轴线旋转，所述限位件可升降地安装在所述硬轴上。

在一些实施例中，所述提拉机构还包括：切换组件，所述切换组件设置在所述限位件上，当所述限位件位于所述第二位置时所述切换组件与所述籽晶夹相连，以使所述限位件与所述籽晶夹同步运动。

进一步地，所述籽晶夹包括：下夹体，所述下夹体用于固定所述籽晶；上夹体，所述上夹体可分离地连接在所述下夹体上，所述上夹体与所述软轴相连；离合结构，所述离合结构设置在所述上夹体和所述下夹体之间，所述离合结构在分离状态和结合状态之间可切换，在分离状态时所述下夹体和所述上夹体之间可分离，在结合状态时所述离合结构将所述下夹体和所述上夹体结合为一体；所述限位件在所述第二位置且所述切换组件连接所述籽晶夹时，所述离合结构由所述结合状态切换至所述分离状态。