[发明专利]一种太赫兹波长测量与扫描成像一体化装置

权利要求书

1.一种太赫兹波长测量与扫描成像一体化装置，包括太赫兹源(1)、孔径光阑(2)、离轴抛物面镜(3)、分束镜(4)、反射镜M2(5)、反射镜M1(6)，透镜(7)、待测物体(8)和探测器(9)，其特征在于，所述装置将太赫兹波长测量与太赫兹扫描成像一体化，太赫兹波长测量与太赫兹扫描成像共用太赫兹源(1)、光阑(2)、离轴抛物面镜(3)、分束镜(4)、反射镜M2(5)、反射镜M1(6)、透镜(7)和探测器(9)。

2.根据权利要求1所述的一种太赫兹波长测量与扫描成像一体化装置，其特征在于，所述离轴抛物面镜(3)、分束镜(4)、反射镜M1(6)三器件中心位于同一直线上。

3.根据权利要求1所述的一种太赫兹波长测量与扫描成像一体化装置，其特征在于，所述离轴抛物面镜(3)、分束镜(4)、反射镜M1(6)的光路方向与X轴平行。

4.根据权利要求1所述的一种太赫兹波长测量与扫描成像一体化装置，其特征在于，所述反射镜M2(5)、分束镜(4)、透镜(7)的中心位于同一直线上。

5.根据权利要求1所述的一种太赫兹波长测量与扫描成像一体化装置，其特征在于，所述反射镜M2(5)、分束镜(4)、透镜(7)的光路方向与Y轴平行。

6.根据权利要求1所述的一种太赫兹波长测量与扫描成像一体化装置，其特征在于，所述孔径光阑(2)设置于离轴抛物面镜(3)和太赫兹源(1)之间。

7.根据权利要求1所述的一种太赫兹波长测量与扫描成像一体化装置，其特征在于，所述待测物体(8)被放置于透镜(7)和探测器(9)之间。