[发明专利]一种太赫兹波长测量与扫描成像一体化装置在审
申请号: | 202210342306.X | 申请日: | 2022-04-02 |
公开(公告)号: | CN114719979A | 公开(公告)日: | 2022-07-08 |
发明(设计)人: | 何正龙;方波;邬佳璐;郑捷;王震;蔡晋辉 | 申请(专利权)人: | 中国计量大学;杭州大华仪器制造有限公司 |
主分类号: | G01J3/28 | 分类号: | G01J3/28;G01J3/02;G01N21/3586 |
代理公司: | 宁波华拓同亿专利代理事务所(普通合伙) 33432 | 代理人: | 南梦怡 |
地址: | 310000 浙江省*** | 国省代码: | 浙江;33 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 赫兹 波长 测量 扫描 成像 一体化 装置 | ||
本发明公开了一种太赫兹波长测量与扫描成像一体化装置,包括太赫兹源、孔径光阑、离轴抛物面镜、分束镜、反射镜M2、反射镜M1,透镜、待测物体和探测器,所述装置将太赫兹波长测量与太赫兹扫描成像一体化,太赫兹波长测量与太赫兹扫描成像共用太赫兹源、光阑、离轴抛物面镜、分束镜、反射镜M2、反射镜M1、透镜和探测器,所述离轴抛物面镜、分束镜、反射镜M1三器件中心位于同一直线上。该太赫兹波长测量与扫描成像一体化装置,将太赫兹波长测量与太赫兹扫描成像进行一体化设计,共用太赫兹源、孔径光阑、离轴抛物面镜、分束镜、反射镜、透镜和探测器,实现高精度的波长测量与物体扫描成像,减小了装置体积,使装置具备功耗低、效率高的特点。
技术领域
本发明涉及波长测量与光学成像技术领域,具体为一种太赫兹波长测量与扫描成像一体化装置。
背景技术
太赫兹(THz)波是指频率在0.1-10THz(波长为3000~30μm)范围内的电磁波,其波段位于微波与红外之间,属于远红外和亚毫米波范畴。其具有透视性、惧水性、安全性和光谱分辨能力等。近年来,伴随着太赫兹的发展,其逐渐应用于医疗,安全检查、通信技术、生物技术等领域,人们对太赫兹波的应用也提出了更高的要求,太赫兹波长测量和太赫兹成像的研究成为迫切需求。目前,市面上的常规太赫兹波长测量装置和太赫兹透射式扫描成像装置大多是独立存在,体积大,零件多,操作复杂且耗时,价格偏高,无法满足社会多样化的需求,针对上述情况,在现有的装置基础上进行技术创新。
发明内容
本发明的目的在于提供一种太赫兹波长测量与扫描成像一体化装置,以解决上述背景技术中提出的问题。
为实现上述目的,本发明提供如下技术方案:一种太赫兹波长测量与扫描成像一体化装置,包括太赫兹源、孔径光阑、离轴抛物面镜、分束镜、反射镜M2、反射镜M1,透镜、待测物体和探测器,所述装置将太赫兹波长测量与太赫兹扫描成像一体化,太赫兹波长测量与太赫兹扫描成像共用太赫兹源、光阑、离轴抛物面镜、分束镜、反射镜M2、反射镜M1、透镜和探测器。
进一步的,所述离轴抛物面镜、分束镜、反射镜M1三器件中心位于同一直线上。
进一步的,所述离轴抛物面镜、分束镜、反射镜M1的光路方向与X轴平行。
进一步的,所述反射镜M2、分束镜、透镜的中心位于同一直线上。
进一步的,所述反射镜M2、分束镜、透镜的光路方向与Y轴平行。
进一步的,所述孔径光阑设置于离轴抛物面镜和太赫兹源之间。
进一步的,所述待测物体被放置于透镜和探测器之间。
与现有技术相比,本发明的有益效果是:
将太赫兹波长测量与太赫兹扫描成像进行一体化设计,共用太赫兹源、孔径光阑、离轴抛物面镜、分束镜、反射镜、透镜和探测器,使太赫兹波长测量和太赫兹扫描成像操作更加灵活,实现了高精度的波长测量与物体扫描成像,减小了装置体积,使装置具备功耗低、效率高的特点,既节省了空间,也节省了成。
附图说明
图1为本发明一种太赫兹波长测量与扫描成像装置平面光路结构示意图。
图中:1、太赫兹源;2、孔径光阑;3、离轴抛物面镜;4、分束镜;5、反射镜M2;6、反射镜M1;7、透镜;8、待测物体;9、探测器。
具体实施方式
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