[发明专利]电感耦合等离子体发射光谱仪的气路监测及控制方法与装置

权利要求书

1.一种电感耦合等离子体发射光谱仪的气路监测及控制方法，其特征在于，所述气路监测及控制方法包括：

1)系统启动后，在显示器上录入各项参数；

2)开启手动开关，导通电感耦合等离子发射光谱仪和供气装置之间的主气路；

3)流量传感器对主气路内气体进行自动采样并记录，并反馈至CPU；

4)CPU自动计算出气体流速，并在显示器上实时展示流速-时间动态；

5)CPU自动计时并执行逻辑判断，具体包括如下：

5.1)若气体实时流速处于第一阈值和第二阈值之间且第二阈值大于第一阈值时，CPU判定为正常状态，执行步骤3；否则执行下一步；

5.2)若气体实时流速大于第二阈值的累计时间超出第一时间参数时，CPU判定为漏气状态，执行步骤7；否则执行下一步；

5.3)若气体实时流速小于第一阈值的累计时间超出第二时间参数时，CPU判定为待机状态，执行步骤7，并执行下一步；否则执行步骤5.1；

5.4)若实时流速小于等于0L/min的累计时间超出第三时间参数时，CPU判定为断气状态，执行步骤6，并执行下一步；否则执行步骤5.1；

5.5)若显示器已发出两次黄色警告，执行步骤8；否则执行步骤5.1；

6)CPU控制显示器发出黄色警告，并执行步骤3；

7)CPU驱动电机关闭主气路上的气阀，并执行步骤3；

8)输出结果，供气装置进入睡眠状态。

2.根据权利要求1所述的一种电感耦合等离子体发射光谱仪的气路监测及控制方法，其特征在于：所述步骤5.1中第一阈值的取值范围为0.6-5L/min，第二阈值的取值范围为15-30L/min。

3.根据权利要求2所述的一种电感耦合等离子体发射光谱仪的气路监测及控制方法，其特征在于：第一阈值的取值为3L/min，第二阈值的取值为20L/min。

4.根据权利要求1所述的电感耦合等离子体发射光谱仪的气路监测及控制方法，其特征在于：所述步骤5.2中第一时间参数设置为10-30s。

5.根据权利要求1或4所述的电感耦合等离子体发射光谱仪的气路监测及控制方法，其特征在于：所述步骤5.3中第二时间参数需大于第一时间参数，其可设置为300-800s。

6.根据权利要求5所述的电感耦合等离子体发射光谱仪的气路监测及控制方法，其特征在于：所述步骤5.4中第三时间参数需大于第二时间参数，其可设置为600-1600s。

7.根据权利要求6所述的电感耦合等离子体发射光谱仪的气路监测及控制方法，其特征在于：第三参数时间需超出第二参数时间300s以上。

8.根据权利要求7所述的电感耦合等离子体发射光谱仪的气路监测及控制方法，其特征在于：第一时间参数设置为10s，第二时间参数设置为600s，第三时间参数设置为1200s。

9.根据权利要求1所述的电感耦合等离子体发射光谱仪的气路监测及控制方法，其特征在于：启动气体流量监测后，可根据气体的流速和时间积分出气体的实际用量。

10.一种电感耦合等离子发射光谱仪的气路监测及控制装置，其特征在于，所述气路监测及控制装置包括：

CPU；

显示器，与所述CPU连接；

主气路，两端分别连接供气装置和电感耦合等离子发射光谱仪；

流量传感器，设于所述主气路上并与所述CPU连接，用于采集所述主气路内气体流速；

气阀，设于所述主气路上并与所述CPU连接，用于控制所述主气路内气体流速；

电机，设于所述气阀上并与所述CPU连接，用于驱动所述气阀闭合与开启；以及

手动开关，与所述CPU连接，用于手动开启和关闭所述气路监测及控制装置。